Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092856 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA ist ein Diffusionsofen und sein dazugehöriges Zubehör - ein leistungsfähiges All-in-One-Gerät zur Verarbeitung von Halbleitersubstraten. Das System ist in der Lage, Niedertemperaturoxidation, Hochtemperaturoxidwachstum, Niedertemperaturdotierung und Hochtemperaturabscheidung Ionenimplantation durchzuführen. Es ist mit einer ergonomisch gestalteten Kontrollstation mit benutzerfreundlicher Software und Funktionen ausgestattet, die Prozesse von Batch- bis Einzelwafer-Lasten mit minimalem Aufwand vom Benutzer durchführen können. Die Ofenkammer, die Heizquelle der Einheit, ist auf einem Stahlrahmen montiert und weist eine gesteuerte Quarzquarzinnenauskleidung und eine Außenschale aus zwei Aluminiumhälften auf. Es hat eine zylindrische Form mit einer flachen Oberseite und kann bis zu sechzehn Wafer aufnehmen. Die Ofenkammer wird durch eine Reihe von Wolframspulen von der Oberseite der Kammer aufgehängt und durch eine Hochfrequenz-Stromversorgung angetrieben beheizt. Die Spulen werden automatisch für Wartung und Austausch entfernt. Die Temperatur der Kammer wird durch den Ofenregler, eine mit den Spulen verbundene Steuerungsmaschine gesteuert, die Strom liefert und die von dem Detektor, einem Temperaturkompensator und dem Ofenregler empfangenen Signale in die von einem Thermoelementmeßgerät erhaltene Solltemperatur überführt. Die Ofensteuerung kann für jeden Schritt der Verarbeitung mit unterschiedlichen Profilen programmiert werden. Darüber hinaus ist die Ofensteuerung mit Sicherheitsfunktionen wie Verriegelungen, Alarmen und Warnungen ausgestattet. Das Werkzeug umfasst eine mit der Kammer verbundene Auslassklappe, die mit einem gebläsegetriebenen Durchflussmesser zur Messung des Luftstroms ausgestattet ist. Das Auslassventil dient dazu, die Umgebung von den hohen Temperaturen im Ofen fernzuhalten und Verunreinigungen durch Begrenzung der Abgasmenge zu verhindern. TEL Alpha 81-ZA enthält auch ein flüssiges Kältemittelmodell, das mit der Kammer und einer vollautomatischen Pumpenanlage verbunden ist. Innerhalb der Ofenkammer befindet sich ein gasgefülltes Rohr zum Auslesen von Temperatur und Druck. Das Kältemittel kühlt die Kammer und ermöglicht eine schnelle Erholungszeit, wenn die Temperatur geändert werden muss. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA ist eine effiziente und kostengünstige Lösung in der Halbleiterindustrie und bietet vielseitige und genaue Verarbeitungsfunktionen für anspruchsvolle Anwendungen. Mit seinem ergonomisch optimierten Steuerungssystem, einer einfachen Benutzeroberfläche und einer Fülle fortschrittlicher Funktionen ist Alpha 81-ZA die perfekte Wahl für jedes Labor, das seine Verarbeitungsfunktionen erhöhen möchte.