Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN #9092857 zu verkaufen
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ID: 9092857
Wafergröße: 8"
Furnace, 8"
Process capability: Pyro
Zones: 5
Process gases: N2, H2, O2, DCE
Controller model: TS4000
Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater
CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN ist ein anspruchsvoller Diffusionsofen und Zubehörsatz für Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Es verfügt über anspruchsvolle Mehrzonen-Temperaturregler mit thermischen Zyklusoptionen, die Präzisionsprozessparameter für ultrahohe Ausbeute und Spitzenqualität ermöglichen. Durch die Präzision von TEL Alpha 81-ZAN können Prozesse wie Schichtübertragung, Hochtemperatur-Oxidationsprozesse, Nitridverarbeitung und Aufdampfprozesse mit gleichbleibend hohem Wirkungsgrad durchgeführt werden. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN umfasst einen gerichteten Mehrkammer-Vakuum-Diffusionsofen und eine Ausrüstung aus Hard- und Softwarekomponenten, die einen kompletten Werkzeugsatz zur Vorbereitung und Steuerung der verschiedenen Diffusionsprozesse bereitstellen. Die Prozesskammer ist aus Edelstahl gefertigt und beinhaltet ein Heizwendelsystem mit zwei unabhängigen Temperaturzonen, das unterschiedliche Diffusionsgeschwindigkeiten ermöglicht. Eine fortschrittliche Kelvin-basierte Temperaturregelung ermöglicht die Regelung der Prozessparameter für mehr Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die Maschine enthält auch einen automatischen Werkzeugregler (ASC), der eine kontinuierliche Überwachung der Leistungsstufen und Temperaturregeleinstellungen ermöglicht. Das ASC umfasst auch die RS485 Ferndiagnosefunktion, mit der Benutzer auf historische Datenprotokolle zugreifen sowie Prozessoptimierungen und Fehlerbehebungen durchführen können. Zum Asset gehört auch eine Variable Pressure Emission Control Device (VPECD), die es ermöglicht, genauen Druck innerhalb der Prozesskammer für eine Vielzahl von Anwendungen zu erzeugen. Für Sicherheit und langfristige Zuverlässigkeit ist Alpha 81-ZAN mit einem Temperatursicherheitsmonitor und einem Interlock-Modell zur Steuerung des Gasstroms ausgestattet. Um Wartung und Ausfallzeiten zu reduzieren, ist das Gerät mit einem ergonomisch optimierten Gehäuse und einer integrierten LED-Anzeige für einfache Überwachung und Diagnose ausgelegt. Das Gerät wird auch mit einer Reihe von Probe-Haltevorräten, einschließlich Quarzröhren, Kappen und Kühler geliefert. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehörsatz für die Verarbeitung von Halbleitern auf höchstem Niveau. Es bietet zahlreiche Funktionen, um eine überlegene Temperaturregelung und genaue Prozessparameter sowie die notwendigen Hard- und Software-Tools zur Überwachung und Optimierung des Systems zu ermöglichen. Mit seiner Kombination aus Sicherheit und Zuverlässigkeit ist TEL Alpha 81-ZAN die perfekte Wahl für ein breites Spektrum anspruchsvoller Anwendungen in der Technologie- und Elektronikindustrie.
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