Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092858 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV Diffusionsofen ist eine automatisierte Halbleiterdiffusions- und Wärmebearbeitungsanlage, die sich auf die Bildung der in IC-Geräten und anderen Schaltungselementen verwendeten Polysilizium-Leiterbahnen spezialisiert hat. Der Diffusionsofen hat eine einzige praktische Lage mit einem Temperaturbereich von 150 bis 2000 Grad Celsius. Es verfügt über drei integrierte Systeme - eine Hochtemperatur-Niederdruckglühkammer (HTLA); einen Niederspannungsofen; und eine Oxidations- und Ätzkammer. Die HTLA-Kammer verwendet präzise Temperaturprofilierungssollwerte, um eine gleichmäßige Glühung in Hochtemperaturverarbeitungsanwendungen zu erzielen. Die Kammer ist in der Lage, Werte von 52 bis 1800 Grad Celsius für genaue Anomalieleistung zur Verfügung zu stellen. Der Niederspannungsofen eignet sich auch für Hochtemperaturverarbeitungsanwendungen und erzeugt Werte von 45 bis 1500 Grad Celsius. Die Oxidations- und Ätzkammer ist programmierbar, um anspruchsvolle Oxidations- und Ätzbedürfnisse zu erfüllen und liefert einen Wertebereich von 3 bis 950 Grad Celsius. TEL Alpha 81-ZV Diffusionsofen verfügt über ein intelligentes und flexibles Steuerungssystem, mit der Fähigkeit, alle Parameter in Echtzeit zu überwachen, aufzuzeichnen, zu analysieren und anzuzeigen. Die intuitive und benutzerfreundliche Oberfläche bietet Informationen für Benutzer, einschließlich Wafer-Zyklusstatus, Prozessrezepte, Prozesszeit und Zykluszeit. Außerdem verfügt der Ofen über einen programmierbaren Vierzonenentzerrer zur präzisen Steuerung von Quertemperaturgradienten. Es wird mit einem Grafit susceptor ausgestattet und hat auch einen atmosphärischen Druck kohlenwasserstoffbasierte atmosphärische Station für die Rechteckverteilung von Gasen. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV Diffusionsofen ist für die Herstellung von zuverlässigen und fehlerfreien Halbleiterbauelementen konzipiert. Seine Eigenschaften halten Temperaturgleichmäßigkeit über die Waferoberfläche, und es hat eine Datenerfassungs- und Analysefunktion für die Verfolgung Zyklusleistung und Prozessoptimierung. Der Ofen verfügt auch über eingebaute Sicherheitssensoren wie Inertgas-Low-Level-Detektion, interne Überdruckdetektion sowie Sauerstoff-Dekompressionsschutz. Darüber hinaus entspricht das Gerät den SEMI S2-Standards sowie den ESD- und EMI-Richtlinien. Insgesamt ist Alpha 81-ZV Diffusionsofen eine integrierte Maschine, die für die Hochtemperaturverarbeitung von IC-Komponenten geeignet ist und eine gleichmäßige Glühung und zuverlässige Leistung liefert. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, präzises Steuerungswerkzeug, Sicherheitssensoren und entspricht den Industriestandards für Qualitätssicherung.