Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092859 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV Diffusionsofen ist ein Einbad, vertikale Ofen Ausrüstung für die integrierte Gerätebearbeitung verwendet. Es verfügt über einen maximalen Prozess von 1.100 ° C und kann bis zu 6 Wafer aufnehmen. Es besteht aus einem Hauptrahmen, einer Gasleitung, einem oberen horizontalen Hitzeschild, einem unteren horizontalen Hitzeschild, einem Suszeptor und einem Waferboot. Der Hauptrahmen besteht aus Edelstahl und ist mit einer hochreinen Stickstoffspülgasabgasanlage ausgestattet. Es enthält auch eine kleine Gasflasche Platz, Quarzglas Fenster und Verschluss. Die Gasleitung stellt der Reaktionskammer für alle Arten von Prozessen Stickstoff, Wasserstoff oder Halogenwasserstoff zur Verfügung. Die oberen und unteren horizontalen Hitzeschilde bilden die Reaktionskammer und bestehen aus einem hochwertigen Aluminiumoxidkeramikmaterial zur Wärmedämmung. Der Suszeptor ist zylindrisches Hochtemperatur-Quarzglas und hat einen Durchmesser von 8 Zoll (203 mm). Das Waferboot ist für bis zu sechs Wafer mit 100mm Durchmesser ausgelegt. Das Boot besteht aus Quarzmaterial und ist mit einem eingebauten Kanal versehen, so dass Gas durch das Boot in die Reaktionskammer gelangen kann. Der Ofen verfügt über einen Touchscreen-Farbmonitor, mit dem Temperatur und andere Einstellungen überwacht und gesteuert werden können Es gibt auch eine Rezeptprogrammfunktion, mit der Prozessrezepte leicht bis zum Ofen geladen werden können. Das Gerät verfügt auch über eine Oxidations-/Nitridationsmaschine, mit einer Vielzahl von Modi (z.B. schnelle Oxidation, schnelle Nitridation, Niedertemperaturnitridation, Schlitzoxidation usw.), um verschiedene Gerätebedürfnisse zu erfüllen. Ein Abgasventilator ist auch für die Prozesskammer verfügbar, um einen stabilen Druck aufrechtzuerhalten und eine sichere und saubere Atmosphäre zu gewährleisten. Schließlich wurden eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen in das Design von TEL Alpha 81-ZV eingebaut, das den sicheren Betrieb des Ofens bei Stromausfall zusätzlich zu Alarmgeräuschen wieder durchsetzt. Abschließend bietet der TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV Diffusionsofen ein umfassendes Leistungsspektrum, das ihn zu einem hocheffizienten und kostengünstigen Werkzeug für die integrierte Gerätebearbeitung macht. Es bietet eine Kombination aus Sicherheit und Komfort, die in anderen Diffusionsofensystemen nicht zu finden sind.