Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636549 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293636549
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Vertical LPCVD furnace, 8"
CIM: SECS, GEM
Fast thermo oxidation process
Stocker
Wafer transfer system
SMIF
RCU System
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör speziell entwickelt, um Prozesse in der Halbleiterforschung und -technologie zu verbessern. Dieser Diffusionsofen ist ein hochspezifischer Hochleistungs-Diffusionsofen mit einem gesamten thermischen Budget von bis zu 200kw und einer maximalen Gerätetemperatur von 1300℃. Es zeichnet sich durch hervorragende Prozessgleichförmigkeit, Temperaturgenauigkeit und Kontrolle aus und betont die Praktikabilität. TEL ALPHA 8SZ verfügt über einen doppelwandigen Ofen kombiniert mit einem horizontalen Suszeptor für verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit und Beladung. Darüber hinaus bietet es umfangreiche Co-Processing-Fähigkeiten, die bis zu vier gleichzeitige Prozesse ermöglichen, die einheitlich gewartet und mit verschiedenen Prozessleitsystemen kompatibel gemacht werden. Die Wärmeversorgung dieses Diffusionsofens ist mit einem effizienten Nachmatrixashing-System gekoppelt, das optionale Gleitofen, Vorsterilisierungsprotokolle und Optionen für einzelne Türen bietet. Die enorme Genauigkeit und Kältefähigkeit dieses Diffusionsofens wird durch einen mehrstufigen, variablen Antriebsmotor erreicht. Diese Innovation verbessert die Genauigkeit, erhöht die Prozessgleichmäßigkeit und sorgt für Stabilität und effiziente Kühlung und Heizraten. Darüber hinaus ist das Heizelement eine Zweiband-Lücke, die mit Molybdän-Disilizid ausgekleidet ist und eine höhere Zuverlässigkeit und schnelleres Rampen bietet. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z ist auch mit einer eingebauten Kartierungseinheit für eine bessere Maschinensteuerung vorbereitet und verfügt über ein Oxidationsschutzwerkzeug zum verbesserten Schutz von Heilern und Teilen. Die Temperaturstabilität dieses Diffusionsofens wird durch eine Vakuumabdichtung und eine Luftreinigungsfunktion verbessert, die ein Eindringen von Luftverunreinigungen in den Innenraum verhindert. Die robusten Steuerungssysteme von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ helfen Benutzern, Prozessdaten exakt zu überwachen und aufzuzeichnen. Es verfügt über ein intuitives grafisches Display und eine große Disc, die eine einfache Inspektion, fokussierte und einheitliche Prozesse und Energieeinsparungen ermöglicht. Darüber hinaus ist die Anlage für einen minimalistischen Betriebsaufbau ausgelegt, der sowohl Bauraum als auch Energiekosten reduziert. Insgesamt ist ALPHA 8SZ ein vielseitiger Diffusionsofen mit hoher Präzision und einer Vielzahl von Merkmalen und Annehmlichkeiten, perfekt für Halbleiterforschung und -technologie. Dieser Diffusionsofen und sein dazugehöriges Zubehör bieten schlanke Prozesse, erhöhte Effizienz und fortschrittliche Zuverlässigkeit.
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