Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636590 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293636590
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Diffusion furnace, 8"
Process: HT02
SMIF Interface
1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und sein zugehöriges Zubehör, das in verschiedenen Halbleiter- und optischen Prozessen verwendet wird. Es ist in der Lage, die thermische Verarbeitung auf Halbleiterscheiben und andere Halbleiterbauelemente bei einer niedrigen Temperatur von etwa 200 Grad Celsius bis zu einer maximalen Temperatur von 1200 Grad Celsius anzuwenden. Die Struktur von TEL ALPHA 8SZ umfasst eine Schleifenbeladung, einen Spaltrohrofen, einen Temperaturregler und eine Abgasanlage. Es umfasst auch eine sauerstoffarme Umgebung, die eine erfolgreiche Oxiddiffusion ermöglicht. Die Loop-Ladeeinheit in TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z erleichtert automatisierte Waferbelastung und Entladung effizient. Diese Maschine ist mit einer speziellen Luft-Handling-Technologie ausgestattet, um die Wafer kühl zu halten, während sie in und aus dem Ofen übertragen. Der Spaltrohrofen ist ein ISO-zertifizierter Diffusionsofen, der sowohl die Ober- als auch die Unterseite eines Wafers anlassen kann. Der Temperaturregler ist das Werkzeug zur Regelung und Aufrechterhaltung der gewünschten Temperatur des Diffusionsprozesses. Neben der Anwendung für die thermische Verarbeitung verfügt TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z über Funktionen zur Unterstützung anderer Aktivitäten. Zum Beispiel hat es eine spezielle Abgasanlage, um Rauch und andere Nebenprodukte während des Betriebs zu reduzieren. ALPHA 8 S Z ist auch mit einer in-situ thermogravimetrischen Analyse (TGA) -Fähigkeit ausgestattet, die eine Echtzeit-Messung des Gewichtsverlusts ermöglicht. Darüber hinaus beinhaltet TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ ein automatisiertes Atmosphärenkontrollmodell zur Erzielung einer konstanten und stabilen Temperatur, Sauerstoff- und Ozonkonzentration. Dies hilft, über unterschiedliche Diffusionsprozesse gewünschte Prozessbedingungen zu gewährleisten. Dieser Diffusionsofen wird von vier Leistungsquellen angetrieben und hat eine geringe Stellfläche, so dass er für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Insgesamt ist Alpha 8S-Z ein zuverlässiger und effizienter Diffusionsofen, der mit allen notwendigen Zubehörteilen ausgestattet ist, um Halbleiterprozesse schnell, effizient und effektiv zu machen. Dieser Diffusionsofen ist ideal für kommerzielle und industrielle Anwendungen.
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