Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293638474 zu verkaufen
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ID: 293638474
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Diffusion furnace, 8"
CIM: SECS, GEM
Wafer transfer system
(2) SMIF
Gas utility cabinet
RCU System
Fast thermo oxidation process
CIM: SECS, GEM
Power unit
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör von TEL (TOKYO ELECTRON). Es ist für verschiedene Anwendungen im Zusammenhang mit dem Prozess der Oberflächendiffusion konzipiert. Es ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Halbleiterherstellung und kann für verschiedene Halbleiterprozesse wie thermische Oxidation, Diffusion, Verdampfung, Beschichtung und Laserglühen verwendet werden. TEL ALPHA 8SZ Diffusionsofen kann verwendet werden, um eine optimale Temperaturumgebung für den Diffusionsprozess zu schaffen. Der Ofen ist mit zwei Hochtemperaturöfen ausgestattet, die bis zu einer maximalen Temperatur von 1200 ° C erreichen können.Die präzise Temperatur- und Luftströmungsregelung ermöglicht eine breite Palette von Substratheiz- und Kühlanforderungen, wodurch TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z für eine Vielzahl von Prozessen geeignet ist. Der Ofen enthält ferner eine optionale Niedertemperaturkammer, die die Verarbeitung temperaturempfindlicher Materialien ermöglicht. Diese Kammer verarbeitet Temperaturen bis -10 ° C und kann sowohl für Laserglühprozesse als auch für Flüssigphasenepitaxie (LPE) verwendet werden. TEL ALPHA 8 S Z Diffusionsofen ist mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle entworfen, so dass es einfach und sicher betrieben werden kann. Mit dem intuitiven Bedienfeld können Temperaturen bis 800 ° C eingestellt und der Zustand des Ofens überwacht werden. Die grafische Darstellung vereinfacht die Navigation von Einstellungen und Programmen und bietet Warnungen und Fehlerstatus. Weitere Merkmale von ALPHA 8SZ umfassen eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie einen Gasabschalter, Übertemperaturschutz und ein flüssiges Stickstoffkühlsystem zur sicheren Handhabung von hohen Temperaturen und Druck. Der Ofen ist auch mit einer Vielzahl von Messgeräten, einschließlich 4-Port-Vakuumsystemen, für einen effizienten Betrieb kompatibel. TEL Alpha 8S-Z Diffusionsofen ist ein unverzichtbares Werkzeug für die Herstellung und Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Seine fortschrittliche Temperaturregelung, Sicherheitsfunktionen und sein vielseitiges Einsatzspektrum machen es zu einem idealen Werkzeug für die moderne Halbleiterindustrie.
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