Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293642584 zu verkaufen
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ID: 293642584
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Furnace, 8"
Process: Pyro
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 0.2 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
H2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS: AC 120 V, Single Phase, 5 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör für den Einsatz in der Halbleiterforschung und -produktion. Es ist in der Lage, hohe Temperaturen von bis zu 1000 ° C, so dass Substrate in fortgeschrittenen Verfahren wie der Aufdampfung verwendet werden können. Das 8S-Z umfasst eine fortschrittliche Reaktionskammerauslegung, die eine optimale Gasströmung und Temperaturgleichförmigkeit ermöglicht. Das 8S-Z ist perfekt für fortgeschrittene Forschung in einer Vielzahl von Bereichen wie integrierte Schaltkreisproduktion, Mikroherstellung, MEMS und mehr. Es bietet überlegene Leistung im schnellen Glühen und Niedertemperatur-Doping. Das 8S-Z verfügt über eine fünfstufige Regelung des Reaktionskammerdrucks, die eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Es verfügt über eine Top-Ladetür, die es Benutzern ermöglicht, Substrate direkt in die Hauptkammer zu laden. TEL ALPHA 8SZ bietet ein umfangreiches Zubehör, das Anwender je nach Bedarf einsetzen können. Dazu gehören ein Transferlader, Shuttles und Baskets sowie eine Cooler Quench-Baugruppe mit einem speziellen Ventilator und einer Kaltluftausrüstung. Dadurch bleibt der Ofen während der Verarbeitung kühl und verhindert Beschädigungen des Systems, des Substrats und der Geräte des Benutzers. Das 8S-Z bietet auch eine Level-II Computer Control Unit (CCS). Diese Maschine ermöglicht es Benutzern, die Ofenparameter mit großer Präzision zu überwachen und zu programmieren. Es enthält auch Sicherheitsmerkmale, die den Ofen automatisch absperren, wenn anormale Zustände festgestellt werden. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z ein Diffusionsofen mittlerer Reichweite mit ausgezeichneter Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit sowie zuverlässigen Sicherheitsmerkmalen. Es verfügt über eine Vielzahl von Zubehörteilen, die es perfekt für fortgeschrittene Forschung in der Halbleiterproduktion, Mikroherstellung und anderen Bereichen machen.
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