Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704451 zu verkaufen

ID: 293704451
Weinlese: 1999
Diffusion furnace 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur präzisen Regelung der Temperatur im Diffusionsprozess zur sicheren und präzisen Herstellung von Halbleitern. Diese Ausrüstung ist ideal für Halbleiterverarbeitung, Dünnschichtabscheidung und Glühanwendungen. Es verfügt über ein thermisch isoliertes Prozessrohr, eine Schnittstellensteuereinheit und eine integrierte erweiterte optische Temperaturmesseinrichtung. Die Schnittstellensteuerung verfügt über vier unabhängig programmierbare Programme für eine Vielzahl von Prozessen und überwacht auch den Zustand des Ofens. Das integrierte erweiterte optische Temperaturmeßsystem ist in der Lage, die Temperatur des Prozessrohres mit einer hohen Genauigkeit zu messen und kann programmiert werden, um die Temperatur des Ofens basierend auf den Messwerten einzustellen. TEL ALPHA 8SZ kann bei bis zu 1350 ° C arbeiten, verwendet ein zweistufiges Quarzrohr und ist mit einer Aluminiumoxidisolierplatte ausgestattet. Diese Wärmerückhalteplatte ist in der Lage, Wärme zwischen den Probenscheiben aufrechtzuerhalten und das Rohr vor einer Überhitzung zu bewahren, was dann zu einer unerwünschten Situation führen kann. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z Einheit hat auch Mehrzonenfähigkeit, bis zu sechs Kontrollzonen und bis zu 14 Waferquellen. Es ist so ausgelegt, dass es eine manuelle Sperrfunktion aufweist, die den Zugriff auf die Prozesskammer im Notfall verhindert. Es verfügt auch über einige erweiterte Funktionen wie eine Regelmaschine mit geschlossenem Regelkreis, Temperaturanstieg-Timer und Stromausfallschutz. Das Regelwerkzeug arbeitet in Verbindung mit dem Ofenregler und hilft, seine Temperatur entsprechend dem programmierten Profil des Rezepts zu regulieren. Der Temperaturrampen-Timer hilft bei der Einstellung der maximalen Temperatureinstellung, bei der der Prozess fortgesetzt werden soll. Schließlich trägt der Stromausfallschutz dazu bei, dass der Ofen im Falle einer Stromunterbrechung weiter arbeitet. Alpha 8S-Z ist ein einfach zu bedienendes Asset und verfügt über ein leicht lesbares Display. Es ist auch mit einem intuitiven Steuermodell zur einfachen Steuerung jedes Prozesses ausgestattet. Die Steuerungsanwendung ermöglicht es Benutzern, verschiedene Steuerungsebenen einzurichten und den Prozess Schritt für Schritt zu überwachen. Die Ausrüstung ist auch sehr zuverlässig und verfügt über eine breite Palette von Sicherheitsfunktionen, um das System vor Beschädigungen zu schützen.
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