Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704452 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein speziell für die Bearbeitung von Wafern entwickelter Diffusionsofen. Es wurde entwickelt, um die höchste Produktivität zu erzielen, mit einem geringen Einfluss auf die Energieeinsparung und gleichzeitig eine hervorragende Prozesskontrolle und Einheitlichkeit zu gewährleisten. Das 8S-Z bietet eine starke Wärmequelle und eine optimale Atmosphäre für den Reinigungsprozess von Oxidoxidfilm, Dünnoxidfilm, Polysiliziumätzen, Nitridverarbeitung und anderen verwandten Materialien. Die Maschine ist mit einem Quarzrohr mit einer Länge von 1,8 Metern und einer Breite von 0,3 Metern ausgestattet, das mit der heißen Zone für 8S-Z ausgestattet ist. Die Isolierwände in dieser heißen Zone bieten einen Temperaturbereich von maximal 1250 Grad Celsius. Die Maschine ist auch mit TEL-ATOS ausgestattet, einer proprietären Software, die die Temperaturen innerhalb der heißen Zone sowie das Thermoelement am Boden des Quarzrohres steuert. Dadurch wird ein gleichmäßiger und wiederholbarer Diffusionsvorgang gewährleistet. Die Maschine ist auch mit drei unabhängigen Heizungen ausgestattet, die sich selbst kalibrieren. Es kann die Temperatur der heißen Zone über eine größere Oberfläche effektiv steuern und gewährleistet die Gleichmäßigkeit des Diffusionsprozesses. Die Maschine wurde auch mit einem verbesserten Auto-Offset-Mechanismus entwickelt, der die Offset-Zeit reduziert und gleichzeitig mehr Zeit für den Prozess bietet. Seine C-Typ Struktur ermöglicht wi th verbesserte Gleichmäßigkeit bei erhöhter Druckfähigkeit sowie verbesserten Zugang, so dass schnelle und genaue Dünnschichtprozesse. Das 8S-Z verfügt zudem über eine integrierte Automatisierungs- und Überwachungseinrichtung (AMS), die eine effiziente Steuerung mehrerer Maschinen mit derselben Steuerung ermöglicht. Dies trägt zur Maximierung von Effizienz und Durchsatz im Diffusionsprozess bei. Dieses Gerät ermöglicht eine alarmbasierte Meldung des Prozessstatus. Die Maschine kann auch anormale Zustände erkennen und eine Warnung an den Bediener senden. Das 8S-Z ist zudem mit präventiven Wartungs- und Datenerfassungsfunktionen ausgestattet, die Ausfallzeiten reduzieren und eine effiziente Prozesskontrolle gewährleisten. Dies macht die Maschine einfach zu warten, und es kann alle möglichen Probleme genau überwachen und erkennen. Das 8S-Z verfügt zudem über einen doppelwandigen Rahmen zur verbesserten Wärmedämmung. Dies reduziert den Stromverbrauch und sorgt für eine starre Körperstütze und einen sicheren Betrieb. Diese Funktion hilft auch, Geräusche und Vibrationen zu reduzieren und macht es bequemer, die Maschine zu verwenden. Insgesamt ist TEL ALPHA 8SZ ein hochmoderner Diffusionsofen, der alle Arten von Waferbearbeitungsaufgaben effektiv bewältigen kann. Es ist sehr zuverlässig, mit integrierten Steuerungssystemen und einer Vielzahl von Funktionen, die eine optimale Prozesssteuerung und Einheitlichkeit bieten.