Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759914 zu verkaufen

ID: 293759914
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Furnace, 8" Process: LPCVD- POLY CIM: SECS / GEM (2) SMIFs Does not include Quartz 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur Herstellung hochentwickelter integrierter Schaltungen (ICs). Mit einem integrierten Top-Laderoboter ist TEL ALPHA 8SZ für schnelles und präzises Be- und Entladen von Wafern ausgelegt. Dieses effiziente Werkzeug erhöht den Durchsatz und reduziert die Wahrscheinlichkeit von Verschmutzungen und Störungen. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z bietet flexible Kapazität für zukünftige IC-Entwicklung, da es mit unteren und oberen Heizöfen für eine verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit ausgestattet ist. Der Diffusionsofen selbst wird mit fortschrittlicher Technologie gebaut, einschließlich Präzisionsheizungen, einer Energy Regenerating Equipment (ERS) und einer differentiellen Wärmestromregelung. Das ERS-System wurde entwickelt, um den Stromverbrauch zu reduzieren und die Energieeffizienz zu erhöhen, während die differentielle Wärmestromregelung eine gleichmäßigere Erwärmung und Kühlung des Wafers ermöglicht, um die Ungleichmäßigkeit zu verringern und den Durchsatz zu erhöhen. ALPHA 8 S-Z verfügt auch über Multi-Gas-Einspritzfähigkeit, die die Integration verschiedener Gase ermöglicht. Diese Gase können auf einen weiten Temperaturbereich eingespritzt und aus mehreren Punkten eingebracht werden, um die Gleichmäßigkeit des Diffusionsprozesses zu erhöhen. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur wurde auch durch eine gleichmäßige Gasströmungsmaschine verbessert, die dafür sorgt, dass Gase gleichmäßig und ohne Schlag- oder Turbulenzeinwirkung zugeführt werden. Schließlich verfügt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z über ein 350mm Wafer Handling Tool, das mechanisches und pneumatisches Handling kombiniert. Die mechanisch-pneumatische Handhabungseinrichtung minimiert Vibrationen durch Waferbelastung/Entladung und verringert damit Verzerrungen, die sonst während des Substratübertragungsschritts auftreten könnten. Ein weiterer Vorteil des Handlingmodells ist, dass es eine optimale Materialausgabebehandlung ermöglicht. Kurz gesagt, ALPHA 8SZ ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das überlegene Leistung, präzise Temperaturniveaus und verbesserte Gaseinspritzung für den höchsten Wirkungsgrad in der IC-Produktion mit hohem Durchsatz bietet. Die überlegene Temperaturgleichmäßigkeit, verbesserte Gaseinspritzung und fortschrittliche Bewegungssteuerung von TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z machen es zum idealen Werkzeug für Halbleiterbauelementehersteller, die die fortschrittlichsten integrierten Schaltungen produzieren möchten.
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