Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759915 zu verkaufen
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ID: 293759915
Furnace, 8"
Process: NITDE Deposition
CIM: SECS
SMIF
Wafer transfer robot
Does not include Quartzware / SIC
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör für optimale Effizienz und Zuverlässigkeit. Ausgestattet mit einer automatischen Gasstromsteuerung sorgt sie für eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die gesamte Waferoberfläche im Diffusionsprozess. Es verwendet auch ein spezielles erweitertes Abschirmsystem, um zu verhindern, dass Ausgasungen auftreten und einen Wafer verunreinigen. TEL ALPHA 8SZ bietet eine breite Palette von Funktionen, um eine einfache und zuverlässige Bedienung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z hat eine große, quadratische Kammer und verwendet ein zweistufiges Verfahren zur Hochgeschwindigkeitstemperaturrampe nach oben und Abkühlung. Die Kammer ist mit einer fortschrittlichen Gasstromsteuereinheit ausgestattet, die eine gleichmäßige Gasverteilung gewährleistet, die ein Auftreten von Ausgasen verhindert und den Wafer vor Verschmutzung schützt. Darüber hinaus verfügt der Ofen über eine breite Palette von Temperatureinstellungen von 0 bis 1000 Grad Celsius. Es ist auch mit einer hochgenauen Temperaturregelmaschine ausgestattet, um eine optimale Wärmeverteilung über die gesamte Waferoberfläche zu erreichen. Der Diffusionsofen ist auch mit einer Vielzahl von Zubehörteilen ausgestattet, wie einem Temperaturregelwerkzeug, mehreren Gasquellen, einem Temperaturerfassungsgerät, einem Kühlgerät, Sicherheitsmerkmalen und einer Reihe weiterer Merkmale. Es kommt auch mit einem Gasverteilungsmodell und fortschrittlichen Kühlmechanismus, um sicherzustellen, dass die Temperatur gleichmäßig in der Kammer verteilt ist. Die Kammer verfügt außerdem über einen fortgeschrittenen Wäscher, um etwaige Nebenprodukte des Diffusionsprozesses zu reinigen, bevor sie in die Luft gelangen. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z ist ein leistungsstarkes Werkzeug für Präzisionsdiffusionsprozesse. Es liefert nicht nur eine zuverlässige und gleichmäßige Temperatur über die gesamte Waferoberfläche, sondern es hat auch eine hohe Geschwindigkeit, um die Kammer aufzuheizen und abzukühlen. Das mit dem Ofen gebündelte Zubehör ermöglicht auch eine einfache und effiziente Bedienung der Geräte. Die Kombination von Funktionen macht ALPHA 8 S-Z zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl anspruchsvoller Diffusionsprozesse.
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