Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293811679 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör für präzise Probenvorbereitung und Analysen. Diese Ausrüstung ermöglicht es Benutzern, eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungs-, Glüh- und Dotierungsprozessen genau vorzubereiten und durchzuführen. Das System ist gut geeignet für Produktion, Forschung und Entwicklung, Forschung und experimentelle Anwendungen. TEL ALPHA 8SZ besteht aus einem Großrechner und einer Ladekammer. Der Mainframe ist mit einem 8-Zoll-Wafer Transfer-ELock ausgestattet, der sowohl mit Kassette-zu-Kassette als auch mit Load-Lock-to-Load-Lock-Betrieb kompatibel ist und somit eine schnelle und einfache Probenvorbereitung ermöglicht. Darüber hinaus enthält das Großrechner einen speziell entwickelten Hochfrequenz-HF-Stromgenerator, eine vertikal montierte Sauerstoffversorgungseinheit, eine Stickstoffversorgungsmaschine und ein Abgaswerkzeug. Die Ladekammer ist so ausgelegt, dass sie einen zuverlässigen Probentransfer zwischen der Vorvakuumkammer, der Hauptkammer und der Nachvakuumkammer gewährleistet und somit die Waferoberfläche vor Verunreinigungen schützt. Es ist mit einem rückseitigen 24-Port Vent-ELock ausgestattet, mit dem Wafer vom/zum Mainframe übertragen werden können. Die Kammer enthält auch eine Plasmaquelle, mit der die Waferoberflächen gereinigt werden können. Die Vent-ELock ermöglicht auch die Temperaturmessung mit Thermoelementstütze. Die Waferbearbeitungsanlage bietet eine Vielzahl von Verfahren zur Dünnschichtabscheidung, Glühung und Dotierung. Sowohl thermische als auch Plasmaverfahren können zum Abscheiden, Glühen und Dotieren verwendet werden. Die thermischen Prozesse können eine Vielzahl von Gasen verwenden, einschließlich Stickstoff, Argon, Sauerstoff, Wasserstoff und Ammoniak. Die automatisierte thermische Prozesssteuerung sorgt dafür, dass eine hochwertige Dünnschichtabscheidung erreicht wird. Das Modell kann auch zum thermischen Glühen bis 1000 ° C verwendet werden und ist mit verschiedenen Ofenoptionen ausgestattet, die ein breites Spektrum an Glühtemperaturen und relativen Drücken ermöglichen. Zusätzlich ist das Gerät mit Waferelektrode und beheiztem Gasevakuator für fortgeschrittene Waferdotierungsprozesse ausgestattet. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z bietet Hochdurchsatzbetrieb, zuverlässigen Probentransfer und ausgezeichnete Prozesssteuerung. Es ist ein Hochleistungssystem, das die anspruchsvollsten Anforderungen an Dünnschichtabscheide-, Glüh- und Dotierungsverfahren erfüllt.