Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9239924 zu verkaufen
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ID: 9239924
Weinlese: 2000
Furnace
Polyimide cure
Quartz heater, P/N: 2187-323602-1C
PSU and UPS
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur Herstellung von Halbleiterschaltungen. Es ist für Glühen, Oxidation, Ätzen und andere Prozesse ausgelegt, die hohe Temperaturen erfordern. TEL ALPHA 8SZ verfügt über ein Top-Ladedesign mit einer integrierten Ausrüstung zur Steuerung der Atmosphäre im Ofen, die es für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. Darüber hinaus ist der Diffusionsofen aufgrund seiner fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale, die einen Doppelbrenner, ein Ozon-Zerstörungssystem und ein geschütztes Vakuumventil umfassen, äußerst zuverlässig. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z ist für die Verarbeitung von Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm ausgelegt. Es verfügt über zwei Heizstufen, die Hochtemperaturzone (HTZ) und die Tieftemperaturzone (LTZ). Das HTZ hat eine maximale Temperatur von 1700 ° C und eine durchschnittliche Gleichmäßigkeit von ± 1 ° C über den gesamten Wafer. Das LTZ wird zur Entwicklung von Prozessen eingesetzt und hat eine maximale Temperatur von 800 ° C. Die Temperaturregelgenauigkeit für HTZ und LTZ beträgt 0,1 ° C. Alpha 8S-Z ist mit fortschrittlichen PID (proportional integral derivative) Reglern ausgestattet, um eine hochpräzise Temperaturregelung zu gewährleisten. Die vollständig programmierbaren Controller nutzen eine intelligente Benutzeroberfläche und visuelle Alarme, um den Benutzer über den Prozess auf dem Laufenden zu halten. Darüber hinaus kann der Ofen über eine Fernüberwachungseinheit fernbedient und für mehrere Chargenprozesse eingesetzt werden. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z ist auch mit einer integrierten internen Tischbandübertragungsmaschine ausgestattet. Dies ermöglicht eine schnelle und effiziente Übertragung von Substraten in und aus dem Ofen. Zur optimalen Be- und Entladung verwendet das Werkzeug eine fahrende Klemmplattenkonstruktion. Dadurch wird sichergestellt, dass die Substrate sicher zwischen den Beladungs-, Kühl- und Glühprozessen transportiert werden. TEL ALPHA 8 S Z Diffusionsofen verwendet fortschrittliche Trockenvakuumpumpentechnologie, um hohe Prozesswiederholbarkeit und ausgezeichnete Prozessqualität bereitzustellen. Der Ofen ist mit separaten Trockenvakuumpumpen für den LTZ- und HTZ-Bereich ausgestattet, die eine bessere Kontrolle über die Vakuumbedingungen ermöglichen. Darüber hinaus nutzt TEL ALPHA 8 S-Z fortschrittliche Ozon-Zerstörungstechnologie, um die Ozonmenge in der Prozessatmosphäre zu reduzieren. Diese Technologie basiert auf keramischen Ozonzerstörungskatalysatoren und trägt dazu bei, das Risiko einer Ozonkontamination in den bearbeiteten Wafern zu reduzieren. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der zuverlässig und einfach zu bedienen ist. Es ist für eine breite Palette von Prozessen bei hohen und niedrigen Temperaturen optimiert und ist mit Funktionen wie Trockenvakuumpumpen, Ozon-Zerstörungstechnologie und einem internen Transfergut ausgestattet, um mehr Benutzerfreundlichkeit und erhöhte Prozessqualität zu gewährleisten.
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