Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281900 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z ist ein fortschrittliches Werkzeug mit Hochleistungs-Diffusions- und Oxidationsöfen für eine Vielzahl von Anwendungen, wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Der Ofen hat eine innere Kammer, die von einer Hochvakuumkammer umgeben ist und eine maximale Temperatur von 2500 ° C erreichen kann. Es ist mit einer Plasmaquelle, einer Abgaseinrichtung und einer Null-Luft-Leckageeinrichtung ausgestattet. Der Ofen verfügt über eine 8-Zonen-Steuerungsfähigkeit mit einer in situ einstellbaren Leistungseinstellung für jede Zone, die eine gleichmäßige oder selektive Verarbeitung ermöglicht. Es ist auch mit Lader und Entlader für Wafer und einem 8-Taschen-Verteiler zum automatischen Be- und Entladen ausgestattet. TEL ALPHA 8SZ Diffusionsofen enthält auch eine Vielzahl von Zubehör, die es ermöglichen, verschiedene Arten von Prozessen durchzuführen, wie PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), Sputtern und epitaktisches Wachstum. Dieses Zubehör umfasst eine Vorbehandlungskammer, die zur Reinigung, Vorwärmung, Glühen und anderen thermischen Behandlungen verwendet werden kann, sowie eine Kühlkammer zur Reduzierung des Wafers auf Raumtemperatur nach der Verarbeitung. Sie weist ferner eine Wafersonde mit einem Temperatursensor zur Regelung der Gleichmäßigkeit auf. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z ist mit einem hohen Maß an Sicherheit ausgelegt, da es mit einem thermischen Grenzschalter und einem Gasabsperrventil ausgestattet ist, um Schäden zu vermeiden, wenn die Temperatur das eingestellte Niveau überschreitet. Es hat auch Strahlungs- und Flammenschutzfähigkeiten. Der Ofen ist auch mit einer hohen Genauigkeit gebaut, da er über Temperatursensoren verwendet, um die Kammertemperatur auf Gleichmäßigkeit und ein atmosphärisches Druckmessgerät zur Regelung des Gasdrucks zu überwachen. Das System verfügt über eine integrierte Steuerungssoftware zur Überwachung der Parameter des Prozesses. Alpha 8S-Z ist eine leistungsstarke und zuverlässige Maschine, die den Anforderungen fortschrittlicher Diffusions- und Oxidationsansätze gerecht wird und benutzerfreundlich ist, mit intuitiver Software und einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen. Es ist eine ideale Wahl für die Herstellung von hoher Qualität mit einer Vielzahl von Anwendungen.