Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9297064 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SCN Diffusionsofen und sein Zubehör können für eine Reihe von Halbleiter- und MEMS-Geräteherstellungsverfahren verwendet werden. Das Gerät kann Zeit, Temperatur und Atmosphäre innerhalb der Kammer genau und präzise steuern, um optimale Prozessergebnisse zu erzielen. Es ist in der Lage, Temperaturen bis zu 1280 ° C zu erreichen, und bietet mehrere Optionen für niedrige Temperaturen, schnelle thermische Glühung (RTA) und Hochtemperatur-Fähigkeiten. TEL Alpha 8SCN bietet ein One-Touch, benutzerfreundliches HMI (Human Machine Interface), das die Bedienung vereinfacht, sowie eine schnelle Rampenfähigkeit bei niedriger Temperatur für beispiellose Durchsatz- und Prozessoptimierung. Die gleichmäßige Temperaturverteilung innerhalb des Ofens ermöglicht die Gleichmäßigkeit der Prozessergebnisse in einem sehr kleinen Bereich. Diese gleichmäßige Temperaturverteilung wird auf effiziente Weise erreicht, so dass das System mit geringeren Betriebskosten als viele ähnliche Systeme eingesetzt werden kann. Das Gerät wird mit einer Vielzahl von Zubehör geliefert, um sichere, präzise und wiederholbare Messungen zu gewährleisten, wie z. B. eine In-Situ Sauerstoff-Messmaschine (FIMOS-2), die den Sauerstoffspiegel in der Kammer kontinuierlich überwacht. Darüber hinaus ermöglichen integrierte IT-Lösungen wie das Coater ERDR (Edge Retention Device) und das ECLIPSE-Datenerfassungstool eine Echtzeitanalyse der Prozessparameter. TOKYO ELECTRON Alpha 8SCN ist mit einer großen internen Kapazität ausgelegt, so dass Substrate in Chipträger geladen werden können, die dann mit einem Waferkassettenshaker in den Ofen geladen werden können. Weitere Standardmerkmale sind ein elektronisches Druckventil, ein Verschlusssicherheitsmerkmal, das Substratverlust durch Umschalten des Ventils verhindert, ein automatischer Kühlventilator und ein geräuscharmes Umweltvermögen. Dies gewährleistet einen sicheren und effizienten Betrieb für längere Zeit. Alpha 8SCN ist eine ideale Maschine für viele der heutigen Halbleiter- und MEMS-Anwendungen und wurde mit fortschrittlichen Funktionen entwickelt, um höchste Qualität zu gewährleisten. Die präzise Temperaturregelung, die schnelle Rampenfähigkeit, die Echtzeitmessung und -analyse sowie integrierte IT-Lösungen machen es zu einer zuverlässigen und effizienten Wahl für viele technische Prozesse.