Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #9227412 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV
ID: 9227412
Wafergröße: 8"
System, 8" Cu line AP Alloy.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV ist ein Diffusionsofen mit Zubehör für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Die Ausrüstung besteht aus einer Plattformbasis und einem Graphit-Suszeptor darüber. Auf beiden Seiten der Basis befinden sich zwei Motoren, die den Suszeptor nach oben und unten heben. Der Suszeptor ist kreisförmig geformt, was eine gleichmäßige Erwärmung des Wafers ermöglicht. Es nutzt Zwangsluftzirkulation, um gleiche Temperaturen über seine gesamte Oberfläche zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das System über ein optisches Pyrometer zur Temperaturmessung und Regelung der Heiz- und Kühlgeschwindigkeit des Suszeptors. TEL ALPHA-8S-ZV verfügt über eine große Prozesskammer, die bis zu 20 Wafer aufnehmen kann. Um das Gerät von außen vor Verunreinigungen zu schützen, verfügt es über eine spezielle Dichtungsmaschine. Dieses Dichtungswerkzeug sorgt dafür, dass die Wafer sauber und frei von Staubpartikeln bleiben und präzise Herstellungsprozesse ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über einen Temperaturbereich von bis zu 1100 ° C, wodurch verschiedene Ätz- und Glühprozesse möglich sind. Diese Anlage ist auch mit einem automatischen Reinigungszyklus ausgestattet, der regelmäßig durchgeführt werden kann, um die Wahrscheinlichkeit einer Verschmutzung der Wafer weiter zu verringern. Um die Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten, wird TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV mit einem Interlock-Modell geliefert. Diese Funktion wird verwendet, um eine versehentliche Aktivierung des Ofens bei geöffnetem Deckel zu verhindern und den Benutzer vor möglichen Schäden zu schützen. Das aufgeschmolzene Kieselsäurefenster im Ofendeckel ermöglicht eine visuelle Überwachung des Wafers während der Erwärmung. Dieser Diffusionsofen verfügt auch über eine Reihe modernster Funktionen, um den Stromverbrauch und die Emissionen zu reduzieren. Während die meisten Systeme reinen Stickstoff als Trägergas verwenden, verwendet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZV eine Kombination von Gasen wie Sauerstoff, Argon und Argonoxid. Dies verursacht weniger Schadstoffe und minimiert den Energieverbrauch für den Betrieb. Darüber hinaus ist die Anlage so ausgelegt, dass ein gleichmäßiges Temperaturprofil sowohl in der Prozess- als auch in der Abgaskammer erhalten bleibt. Dies verhindert den Durchbruch von Hot Spots, was zu verbesserten Erträgen und Qualität führt. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ZV ist einer der führenden Diffusionsöfen, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden. Es bietet ein zuverlässiges und anspruchsvolles System, das einige der fortschrittlichsten verfügbaren Technologien herstellt. Mit seinen Sicherheitsmerkmalen, niedrigen Emissionen und einer ausgezeichneten Temperaturregelung ist es die perfekte Wahl für jedes Unternehmen, das mit zuverlässiger Produktion Gewinne maximieren möchte.
Es liegen noch keine Bewertungen vor