Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227414 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur Herstellung monolithischer integrierter Schaltungen auf Siliziumscheiben. Diese Maschine bietet bis zu 12 unabhängig programmierbare Prozessrohre und ist in der Lage, eine Vielzahl von Gasphasenprozessen durchzuführen, darunter thermisches Oxid, Nitrid, dotierte Oxide und Dotierstoffantrieb. TEL ALPHA-8S-ZVN ist mit einer Quarzrohrkammer ausgestattet, die eine hervorragende thermische Leistung bietet und ultrahohe Temperaturen über 1200 ° C mit präziser Temperaturregelung erreichen kann. Um eine präzise Gleichmäßigkeit für die Diffusionsprozesse zu gewährleisten, ist jede Röhre auf TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN mit einem präzisen Dual-Zone-Temperaturregelsystem ausgestattet, mit unabhängigen Zonentemperaturen, Vorwärm-, Hoch- und Abkühltemperatureinstellungen. Dies sorgt für ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit, was einen präzisen Herstellungsprozess ermöglicht. Alpha 8S-ZVN ist außerdem mit einem automatisierten Oxidationsmittel-Erzeugungssystem ausgestattet, das die Sauerstoffkonzentration in der Diffusionskammer genau und konsequent aufrechterhält und eine gleichmäßige Oxiddicke auf dem Wafer ermöglicht. Die Maschine ist außerdem mit einem einzigartigen RFID-fähigen Teilsystem zum Laden von Wafern ausgestattet, das jeden Wafer während des gesamten Diffusionsprozesses sicher etikettiert und verfolgt. Dies ermöglicht eine einfache Replikation und schnellere Ladezeiten für Wafer. TEL Alpha 8S-ZVN ist auch in der Lage, eine Reihe von Standard-Dotierstoff-Drive-In-Prozesse auszuführen, einschließlich Arsen und Phosphor. Für diese Prozesse ist die Maschine in der Lage, Stickstoff oder Argon/Wasserstoff-Gemische zu erzeugen, so dass sicherer und effizienter Dotierstoff Drive-in. Die Maschine bietet auch eine Reihe von Nachantriebs- und Aufräumoptionen, darunter simultanes Vinyltrimethoxysilan (VTMS) und Argon/Wasserstoffplasma. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN ist ein sehr zuverlässiger und präziser Diffusionsofen und Zubehör, ideal für die Herstellung von hochdichten monolithischen integrierten Schaltungen. Mit seinen zahlreichen Sicherheitsmerkmalen, dem zuverlässigen Temperaturregelsystem und dem automatisierten Waferbeladungs-Subsystem ist es ein leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen.