Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293607761 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das entwickelt wurde, um verschiedene Typen von bis zu 300mm Wafern und verwandten Komponenten mit hoher Durchsatzleistung zu verarbeiten. Die Maschine bietet hohe Kapazität Steuerung, Kühlung und Verarbeitung Fähigkeiten. Es umfasst eine Vielzahl von Merkmalen wie ein internes Absperrventil für den Wafertransport, eine Diffusions- und Glühkammer sowie eine Pyrometrieeinrichtung zur präzisen Überwachung und Temperaturregelung. TEL ALPHA-8S verfügt über ein Gassteuerungssystem der Serie 1200-A, das in die Diffusionskammer integriert ist, um eine präzise Temperatur- und Gasregelung für hohe Durchsatzleistung, Wiederholbarkeit und Stabilität zu gewährleisten. Die Maschine ist mit einer Multitasking-Schnittstelle für eine effiziente Arbeitsplatzintegration von bis zu 8 Substrattypen, acht Auftragsarten und acht Waferhaltergrößen ausgestattet. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Pre-Heat-Pumpe gibt genaue Oxid-Wachstumskontrolle, und fünf Verdampfer Stick Ventile geben Leistung Ramping und Leistungsstabilität. Die Drucküberwachungsfähigkeit ermöglicht bis zu 200 Torr Druckregelung über eine breite Palette von Teilen, um eine optimale Dotierungstiefe zu erreichen. Darüber hinaus bietet der verkapselte cOOLPOD eine verbesserte Wiederholbarkeit von Temperaturprofilen. TEL Alpha 8S fein abgestimmte Trockenpumpeneinheit ermöglicht einen Durchsatz von 300 Substraten pro Stunde, und seine Schnittstelle zur Ewafer Applications Suite ermöglicht Softwaresteuerung und Ferndiagnose. Die Maschine ist auch mit einer Volltür ausgestattet, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung innerhalb der Kammer zu gewährleisten, und ist zertifiziert, eine Vielzahl von Substraten zu betreiben, mit der Option, nach Bedarf zusätzliche Waferhalter zu installieren. Die integrierte Pyrometriemaschine wurde entwickelt, um Temperaturverschiebungen zu erkennen, Präzisionsprozesse zu ermöglichen und die Wiederholbarkeit über eine breite Palette von Substraten zu gewährleisten. Die integrierte Datenaufzeichnungsfunktion ermöglicht eine einfache Datenerfassung für eine effiziente Prozessentwicklung. Seine Automatisierung ist flexibel und ermöglicht so eine optimierte Wafer-Prozessrezepturerstellung und vollständige Wafer-Tracking. Insgesamt bietet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S ein hocheffizientes Werkzeug zur Handhabung großer Mengen von bis zu 300mm Substraten. Durch die Kombination von Funktionen wie integrierter Gassteuerung, effizienter Jobintegration und Automatisierung, präziser Pyrometrie und Trockenpumpensystemen und effektiver Datenerfassung und -verfolgung bietet Alpha 8S eine optimale Lösung für eine Vielzahl von Diffusionsverarbeitungs- und Glühanwendungen.