Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293738386 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein vielseitiger, halbautomatischer Chargendiffusionsofen und Zubehör, mit dem Benutzer Nitrid-, Oxynitrid- und Nitridoxidfilme präzise erzeugen können. Es ermöglicht eine hochwertige thermische Verarbeitung mit guter Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit, so dass es ideal für die Massenproduktion von Geräten und Substraten ist. TEL ALPHA-8S ist mit einer extrem präzisen Temperaturregelung, automatisierten Prozessüberwachungs- und Einstellmöglichkeiten sowie einer stabilen vertikalen Gasverteilerausrüstung ausgestattet. Der Ofen verfügt über ein 30 Zoll großes, ankergestütztes Quarzrohr, das ein einfaches Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. Die maximale Temperaturstärke von TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S beträgt 1.150 ° C und der bearbeitbare Bereich wird bewertet, um kundenspezifische Temperatureinstellungen im unteren, mittleren und oberen Bereich zu ermöglichen. Um eine präzise Verarbeitung zu ermöglichen, wird ein effizientes, automatisiertes Prozessleitsystem implementiert. Temperatur, Druck und Reaktionszeit können in Echtzeit eingestellt und eingestellt werden, um die voreingestellten Prozesse besser steuern zu können. Der Ofen wird mit einer neu entwickelten „Dual-Coil“ -Gaseinspritzeinheit betrieben, die aus zwei Spulen besteht. Diese Spulen können unabhängig voneinander für eine erhöhte Gasströmungsregelung, Verbesserung der Gasgleichförmigkeit und Gesamtprozesssteuerung eingesetzt werden. Darüber hinaus ist Alpha 8S auf Flexibilität ausgelegt, die sowohl den manuellen als auch den vollautomatischen Betrieb ermöglicht. Die manuelle Prozesssteuerung bietet programmierbare Sollwerte, die es Anwendern ermöglichen, leicht mit der Umgebung zu interagieren und Abläufe entsprechend den Produktanforderungen schnell anzupassen und zu ändern. Um eine optimale Oxidationsleistung zu unterstützen, ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S standardmäßig mit einem integrierten Oxidationsmonitor ausgestattet, der die thermische Oxidationsaktivität in situ überwacht und anzeigt. Diese in situ Überwachungsmaschine liefert Anwendern rechtzeitig Daten und Informationen über den Oxidationszustand des Prozesses, was die Effizienz des gewählten Prozesses anzeigt. Darüber hinaus bietet das integrierte Prozesssteuerungstool eine konstante Rückkopplung, die zur Optimierung der Wafer-by-Wafer-Prozessgleichförmigkeit genutzt werden kann. Zubehör kann auch verwendet werden, um die Leistung von TEL ALPHA 8 S weiter zu verbessern. Optionen wie ein Prozessunterbrechungssensor und ein flexibler Armlader sorgen für zusätzliche Steuerung und Flexibilität. Diese Merkmale können sicherstellen, dass während der Produktion die bestmöglichen Ergebnisse erzielt werden. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ein außergewöhnlicher Diffusionsofen und Zubehörkit. Mit seiner automatisierten Prozesssteuerung, Hochtemperaturmessungen und Präzisionsüberwachung ist TEL Alpha 8S in der Lage, Qualitätsprodukte effizient herzustellen. Durch die Verwendung seiner umfassenden Zubehör-Optionen, Benutzer können anpassen und Feinabstimmung ALPHA-8S am besten an ihre spezifischen Bedürfnisse.