Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759912 zu verkaufen
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ID: 293759912
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
PYRO CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen und Zubehör für den Halbleiterabscheidungsprozess, der von professionellen Herstellern verwendet wird. TEL ALPHA-8S verwendet eine Keramikkammer, die einen kontinuierlichen Prozess von der eingehenden bis zur abgehenden Einrichtung ermöglicht. Diese Keramikkammer arbeitet in Verbindung mit einer Eduktorgasförderanlage für einen verbesserten Gasfluss zur effizienten Übertragung und Kühlung von Gemischen. Ein HF-Graphit-Suszeptor schützt die Verpackung vor thermischem Abbau und begrenzt den Kontakt zwischen dem Substrat und seiner Umgebung. Dieser Suszeptor ist auch entworfen, um die Höhe der statischen Elektrizität im Ofen zu minimieren. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Diffusionsofen ist für eine Vielzahl von Prozesstemperaturen im Bereich von 100 ° C bis 1100 ° C geeignet. Mit einer Heizplattentemperatur von bis zu 1440 ° C kann sich der Ofen an verschiedene Prozessparameter anpassen. Dieser Ofen nutzt eine In-situ-Kammer-Inertisierungsfähigkeit mit einem automatisierten Methan-Hardware-Steuersystem, das eine verbesserte Prozesssteuerung bietet, um Kassetten-zu-Kassetten-Variationen für optimierte Abscheidungsprozesse zu minimieren. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist mit robusten Sicherheitsmerkmalen, wie Druckmessmechanismen, ausgestattet, um den Ofen vor möglichen Problemen zu schützen. Die Druckmessung erhöht oder verringert automatisch die Gaszufuhr und sorgt für eine stabile Atmosphäre im gesamten Gerät. Es enthält auch eine temperaturbasierte Alarmmaschine, die an Alarme außerhalb der Öfen angeschlossen und bei möglichen Problemen ausgelöst werden kann. Alpha 8S ist auch mit einem EMI Shiedl Generator ausgestattet, um elektromagnetische Störungen zu vermeiden. Es eignet sich speziell für die Halbleiterverarbeitung, um Wärmeverteilungskonsistenz und qualitativ hochwertige Produkte zu gewährleisten. Seine Verbesserung gegenüber früheren Modellen umfasst Funktionen wie duale Diagnosesteuerung und Aluminiumoxid-Isolierung in der Außenkammer. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S ein zuverlässiger und effizienter Diffusionsofen, der für die Verstärkung des Halbleiterabscheidungsprozesses entwickelt wurde. Seine Keramikkammer und sein HF-Graphit-Suszeptor begrenzen den Kontakt zwischen dem Lieferanten und seiner Umgebung, während der EMI-Schildgenerator und die Drucksensormechanismen zusätzlichen Schutz bieten, wodurch er sicher und einfach zu bedienen ist. TEL ALPHA 8 S ist eine gute Wahl für diejenigen, die einen stabilen und zuverlässigen Prozess suchen.
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