Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759912 zu verkaufen

ID: 293759912
Furnace, 8" Process: HTSIC WDRIV CIM: SECS Carrier and wafer transfer unit ASYST / Pb90C SMIF Layout type: U / box type LL Hand VMU-40-007 Heater Torch heater Gases: N2, O2, H2, Trans-LC Wafer Type: SEMI STD-Notch Cassette Type: Entergris / XT200-01E (25) Cassette wafers (16) Cassettes Fork type / material: 1+4 / AI208 Fork variable pitch TS4000Z System controller PYRO CTL Torch controller Signal tower colours: G/R/A Pressure display units: Pressure Mpa Cabinet exhaust display units: Kpa M121 Furnace temperature controller Does not include Quartzware Gas distribution: Conventional gas system Tubing material: Stainless steel Finish: Electro-polished FUJIKIN manual and air-operated valve MFC Power: Single phase, 120 VAC 3 Phase, 208 VAC UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen und Zubehör für den Halbleiterabscheidungsprozess, der von professionellen Herstellern verwendet wird. TEL ALPHA-8S verwendet eine Keramikkammer, die einen kontinuierlichen Prozess von der eingehenden bis zur abgehenden Einrichtung ermöglicht. Diese Keramikkammer arbeitet in Verbindung mit einer Eduktorgasförderanlage für einen verbesserten Gasfluss zur effizienten Übertragung und Kühlung von Gemischen. Ein HF-Graphit-Suszeptor schützt die Verpackung vor thermischem Abbau und begrenzt den Kontakt zwischen dem Substrat und seiner Umgebung. Dieser Suszeptor ist auch entworfen, um die Höhe der statischen Elektrizität im Ofen zu minimieren. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Diffusionsofen ist für eine Vielzahl von Prozesstemperaturen im Bereich von 100 ° C bis 1100 ° C geeignet. Mit einer Heizplattentemperatur von bis zu 1440 ° C kann sich der Ofen an verschiedene Prozessparameter anpassen. Dieser Ofen nutzt eine In-situ-Kammer-Inertisierungsfähigkeit mit einem automatisierten Methan-Hardware-Steuersystem, das eine verbesserte Prozesssteuerung bietet, um Kassetten-zu-Kassetten-Variationen für optimierte Abscheidungsprozesse zu minimieren. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist mit robusten Sicherheitsmerkmalen, wie Druckmessmechanismen, ausgestattet, um den Ofen vor möglichen Problemen zu schützen. Die Druckmessung erhöht oder verringert automatisch die Gaszufuhr und sorgt für eine stabile Atmosphäre im gesamten Gerät. Es enthält auch eine temperaturbasierte Alarmmaschine, die an Alarme außerhalb der Öfen angeschlossen und bei möglichen Problemen ausgelöst werden kann. Alpha 8S ist auch mit einem EMI Shiedl Generator ausgestattet, um elektromagnetische Störungen zu vermeiden. Es eignet sich speziell für die Halbleiterverarbeitung, um Wärmeverteilungskonsistenz und qualitativ hochwertige Produkte zu gewährleisten. Seine Verbesserung gegenüber früheren Modellen umfasst Funktionen wie duale Diagnosesteuerung und Aluminiumoxid-Isolierung in der Außenkammer. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S ein zuverlässiger und effizienter Diffusionsofen, der für die Verstärkung des Halbleiterabscheidungsprozesses entwickelt wurde. Seine Keramikkammer und sein HF-Graphit-Suszeptor begrenzen den Kontakt zwischen dem Lieferanten und seiner Umgebung, während der EMI-Schildgenerator und die Drucksensormechanismen zusätzlichen Schutz bieten, wodurch er sicher und einfach zu bedienen ist. TEL ALPHA 8 S ist eine gute Wahl für diejenigen, die einen stabilen und zuverlässigen Prozess suchen.
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