Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293769731 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein hochmoderner Diffusionsofen und sein dazugehöriges Zubehör für hochpräzise Anwendungen in der Halbleiter- und Elektronikindustrie. Es bietet eine ausgezeichnete Temperaturauflösung mit einer schnellen Wiederherstellungszeit, die kurze Zykluszeiten und einen höheren Durchsatz ermöglicht. TEL ALPHA-8S ist mit einem abnehmbaren Quarzheizblock ausgestattet, der mit Hochtemperaturwafern verwendet werden kann, wodurch eine Mehrfachbefestigung entfällt. Die Hochtemperaturfähigkeit dieses Ofens ermöglicht auch eine schnelle thermische Verarbeitung von Materialien wie Polysilizium und Silizium-Germanium. Der Heizblock von TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist unabhängig gesteuert und verfügt über einen eingebauten thermoelektrischen Kühler, der eine präzise Steuerung des Temperaturprofils ermöglicht. Ein Graphit-Suszeptor mit Quarzauskleidung wird verwendet, um eine gleichmäßige Heizfläche und eine lange Lebensdauer zu gewährleisten, während ein abnehmbarer Quarzschild das Wafer-Publikum vor Wärmestrahlung schützt. TOKYO ELECTRON Alpha 8S enthält auch ein Pyrometer, das eine Temperaturüberwachung auch außerhalb des Temperaturbereichs des Heizblocks ermöglicht. ALPHA-8 S ist für eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit im gesamten Ofenraum ausgelegt. Eine Drei-Punkt-Temperaturentschädigungsausrüstung sichert ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit über den kompletten Raum mit einer maximalen Schwankung weniger als 1°C. Ein Multi-Slot-Plattenspieler entfällt die Notwendigkeit, den Wafer manuell zu drehen, und ein Multi-Slice-System ermöglicht das einfache Laden und Entfernen mehrerer Wafer. Darüber hinaus verfügt Alpha 8S über eine Vakuum-Evakuierungseinheit, die während des gesamten Prozesses eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit bietet. Die Kammer wird auch mit einer Stickstoffspülmaschine geliefert, um den Wafer während der Erwärmung abzudichten. Dies ermöglicht eine effiziente und reproduzierbare Waferbearbeitung mit geringen Diffusionsverlusten. Schließlich beinhaltet TEL ALPHA-8 S umfassenden Software-Support, mit dem Benutzer Rezeptparameter erstellen können, die ihren spezifischen Bedürfnissen entsprechen. Diese Software macht die Programmierung und Bedienung des Ofens einfach und einfach, während es fortgeschrittenen Benutzern ermöglicht, mit den Parametern zu basteln, um das Beste aus dem Werkzeug herauszuholen. Insgesamt ist TEL Alpha 8S eine ausgezeichnete Auswahl an Diffusionsöfen für Präzisionsanwendungen in der Halbleiter- und Elektronikindustrie.
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