Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770344 zu verkaufen

ID: 293770344
Weinlese: 1996
Furnace 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Premium-Diffusionsofen und Zubehörpaket, das für verschiedene Halbleiterherstellungsanwendungen verwendet wird. Zu den Hauptkomponenten des Ofens gehörten ein vertikales Ofenrohr, ein verstellbarer Pulverturm und zwei Injektoren. Das Ofenrohr ist mit einer evakuierten Bodenabschnittskammer ausgebildet und kann Wafer oder Späne bis 300mm laufen lassen. Der verstellbare Pulverturm verfügt über einen eingebauten Antriebsmotor für präzise Einstellungen und ermöglicht die Abscheidung von darüber liegenden Oxidschichten. Die Injektoren ermöglichen eine gleichmäßigere Abscheidung dickerer Oxidschichten bei präziser Seitenverhältnisregelung. Ein weiteres Merkmal von TEL ALPHA-8S ist seine integrierte Heizung, die verwendet wird, um die Wafer oder Späne vor der Oxidation schnell und genau aufzuheizen. Das integrierte Steuerungssystem, das mit TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S geliefert wird, ist in der Lage, die Gasströmungsoptimierung sowie die Waferreinigung, Vorwärmung und Kühlung genau zu optimieren. Das Steuerungssystem bietet 24 Temperaturzonen mit jeweils eigenem programmierbaren PID-Controller sowie Echtzeit-Datenvisualisierung, Echtzeit-Alarmüberwachung und eine Cloud-basierte Datenbibliothek. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S umfasst auch verschiedene Zubehörwerkzeuge für die Substratpräparation, wie kryogene Neutronenabscheidung, Glühen, Lithographie und berührungslose Partikelwäsche. Darüber hinaus bieten die Zubehörwerkzeuge erweiterte Unterstützung für fortschrittliche Messtechniken, einschließlich Infrarotscannen, Spektroskopie und optische Bildgebung. Abschließend ist TOKYO ELECTRON Alpha 8S ein Hochleistungs-Diffusionsofen für die Halbleiterherstellung und ist für eine präzise Steuerung von Temperatur, Gasfluss, Partikelgleichförmigkeit und Substratreinheit ausgelegt. Es wird mit umfassenden Zubehörwerkzeugen zur Präzisionsprozesssteuerung sowie integrierten Steuerungssystemen zur Echtzeit-Datenerfassung und Waferreinigung geliefert.
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