Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794330 zu verkaufen

ID: 293794330
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Furnace, 8" Handler System: Wafer transfer / Carrier transfer Factory Interface: (2) SMIF Process: TEOS Does not include: Chiller Pump 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S (TEL ALPHA-8S) ist ein Diffusionsofen und eine Zusatzausrüstung, die für die Herstellung und Montage von Wafern verwendet werden kann. Sein Design verwendet ein vertikales Downder-Direktantriebssystem, um eine geringe thermische Verzerrung und eine verbesserte Steuerung zu erreichen. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S enthält einen variablen Frequenzantrieb zur präzisen Temperaturregelung, der eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit beim Ändern der Ofeneinstellungen ermöglicht. Der Ofen ist auch mit einem Standard-Abgasdurchflussmesser ausgestattet, der die Optimierung des Gasdurchsatzes für eine verbesserte Prozesskonsistenz und Gleichmäßigkeit ermöglicht. TEL Alpha 8S unterstützt eine Vielzahl von thermischen Prozessen, darunter Diffusion, Oxidation, Nitridisierung und Tieftemperaturglühen. Um eine gleichmäßige Waferheizung zu gewährleisten, ist der Ofen mit einem mechanisierten Tiegel- und Stufendrehsystem sowie Ober- und Unterquarzlampen ausgestattet. Die Tiegeldrehung erfolgt über einen Direktantriebsmotor, während der Winkel sowohl für die Tiegel- als auch für die Stufendrehung unabhängig gewählt werden kann. Beide Merkmale dienen der Verbesserung der Gleichmäßigkeit des Wafers innerhalb des Ofens. Alpha 8S ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter Temperatur, Ammoniak und Abgasabsperrsysteme. Der Ofen ist auch ausgelegt, um Übertemperaturbetrieb zu verhindern, mit einer Temperatureinstelleinrichtung, die den Betrieb stoppt, sobald die Temperatur den Sollwert überschreitet. Der Ofen verfügt auch über eine fortschrittliche automatische Reinigungsfunktion, die das System zwischen Wärmeprozessen spült, um den Durchsatz für eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit zu optimieren. Zusätzlich zu seinem Top-of-the-Line-Diffusionsofen umfasst ALPHA-8 S auch eine Vielzahl von unterstützenden Zubehörteilen, um den Anforderungen jeder Halbleiterherstellungsanlage gerecht zu werden. Sie umfasst eine elektromagnetische Pumpe, eine Temperaturmeßsonde und einen Wafertemperaturausgleichsständer. Eine Reihe zusätzlicher Komponenten, wie z.B. ein Pulverluftfilter, sind auch als optionales Zubehör erhältlich. ALPHA-8S ist ein vielseitiger und zuverlässiger Diffusionsofen, mit dem hochwertige, verbesserte Halbleiterbauelemente hergestellt werden können. Die einfachen, aber fortschrittlichen Funktionen und das breite Angebot an unterstützendem Zubehör ermöglichen es Benutzern, eine Vielzahl von Waferformen, Größen und thermischen Profilen zu erstellen. Unabhängig davon, ob die Anwendung hohen Durchsatz, Gleichmäßigkeit oder strikte Einhaltung bestimmter Prozessparameter erfordert, ist TOKYO ELECTRON Alpha 8S eine ideale Wahl für die Herstellung und Montage von Wafern.
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