Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293811673 zu verkaufen
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ID: 293811673
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2018
Furnace, 8"
Process: Phosphoryl chloride (POCl₃) deposition
2018 vintage.
Das TELTEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofengerät und Zubehörpaket für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es wurde entwickelt, um die erforderliche Präzision und Gleichmäßigkeit für fortschrittliche Prozesse wie Laserimplantat, Epitaxie, Nassoxidation, thermische Verarbeitung, Gate-Oxidation und Ionenimplantatiion bereitzustellen. Dieses Ofen- und Zubehörpaket ist auf spezifische Prozessanforderungen zugeschnitten, um eine präzise Schichtdicke und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten und Systemausfallzeiten zu minimieren. TEL ALPHA-8S besteht aus einer äußeren Kammer, in der Wafer beladen sind, und einer inneren Kammer, in der der Diffusionsvorgang stattfindet. Die Mitte der äußeren Kammer ist mit einem automatischen Waferkassettenhalter ausgestattet. An jeder Ecke des Halters befindliche Aufzüge erlauben es, die Wafer zur Bearbeitung schonend in den Innenraum zu überführen. Die innere Kammer ist mit einer Reihe von Diffusionsquellen ausgestattet, die genau gesteuert werden können. Zu den vielen Zubehörteilen, die mit TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S kommen, gehört eine heiße Wandquelle. Dies ermöglicht die gleichmäßige Abscheidung von thermischen Oxiden mit Submikrondicken und ausgezeichneter Qualität. Unter Verwendung dieser Quelle können Diffusionsschichten von mehr als 90% Gleichmäßigkeit erreicht werden. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S hat auch eine C-MOS-Gatter Diffusionsquelle, die Präzisionssteuerung über die Gate-Dimensionen und Filmdicke bieten kann. Neben diesen Diffusionsquellen verfügt TEL ALPHA 8 S auch über eine robuste Gaseinheit, um die effiziente Zufuhr von Ätz- und Oxidationsgasen zu gewährleisten. Diese Maschine ist mit speziellen Rohren und Ventilen für eine einfache Installation vorverpackt. TEL Alpha 8S enthält auch ein hochpräzises Auf-Wafer-Temperaturregelwerkzeug. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Wärmeverteilung über die gesamte Waferoberfläche. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S ein hochqualitatives Diffusionsofen-Asset und Zubehörpaket, das genau auf komplexe Halbleiterprozesse zugeschnitten ist. Es ist mit vielen Funktionen ausgestattet, die die für fortgeschrittene Geräteherstellungsaufgaben erforderliche Genauigkeit und Gleichmäßigkeit bieten. Mit seinem speziellen Gasmodell, dem On-Wafer-Temperaturregelgerät und der Heißwandquelle sorgt dieses Paket für einen zuverlässigen und effizienten Diffusionsprozess.
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