Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816021 zu verkaufen

ID: 293816021
Weinlese: 1998
Furnace 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein fortschrittliches Roboterdiffusionsofen und Zubehörsystem, das im Halbleitermontageverfahren verwendet wird. Es wird verwendet, um dünne Schichten aus alternierenden Dotierstoffen wie Arsen, Phosphor, Bor und Gallium auf Wafern während der Substrataufbereitungsphase der integrierten Schaltungsherstellung zu erzeugen. Der Ofen ist mit einem einzigartigen Zyklussystem ausgestattet, das es ermöglicht, bis zu vier unterschiedlich dotierte Wafer zu einem beliebigen Zeitpunkt aufzunehmen und diese Wafer durch die Aufschlämmung oder Dampfphase des Diffusionsprozesses zu zyklisieren. Dies ermöglicht einen höheren Durchsatz und verbesserte Zykluszeiten bei gleichzeitiger Einhaltung höchster Qualitätsstandards. TEL ALPHA-8S verfügt zudem über automatisierte Be- und Entladesysteme für Förderer. Dadurch können die Wafer schnell und effizient in die Kammer gebracht werden, wobei eine Reihe von Schritten durchlaufen wird, wie sie in Körben zum Backen gelagert, auf die vorgegebenen Schalen geladen, Diffusion bearbeitet, aus den Schalen entladen und dann aus der Kammer gebracht werden. Darüber hinaus umfasst TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ein Vakuumgefäß, das flexible Heiz- und Kühlzyklen ermöglicht. Seine Sicherheitssysteme umfassen Dreizonen-Abgasüberwachungen, um Fehler oder Störungen im Zyklus zu erkennen, automatische Abschaltungen, wenn eine minderwertige Schicht gebildet wird, und einen Bewegungssensor, der den Diffusionsprozess abschaltet, wenn eine Bewegung außerhalb der Kammer erkannt wird. TEL ALPHA-8 S ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Diffusionsofen- und Zubehörsystem. Seine Fähigkeit, mehrere Wafer zu halten, Zykluszeiten niedrig zu halten und eine sichere Umgebung für den Diffusionsprozess zu bieten, machen es zu einem großartigen Werkzeug für jede Produktionslinie. Es ist auch sehr anpassbar mit verschiedenen optionalen Funktionen wie Stapelverarbeitung und die Fähigkeit, ultradünne Schichten zu behandeln. Mit seiner präzisen Steuerung des Diffusionsprozesses sorgt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S dafür, dass Produktionslinien in der Nähe der maximalen Kapazität sind, ohne die Qualität zu beeinträchtigen.
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