Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816024 zu verkaufen

ID: 293816024
Furnace Configuration: FSG Anneal.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S Diffusionsofen ist eine leistungsfähige und zuverlässige Ausrüstung für nachhaltige Halbleiteranwendungen. TEL ALPHA-8S bietet überlegene Prozesse für eine schnellere, zuverlässigere Diffusion mit überlegener Heizungsgleichförmigkeit, präziser Temperaturgleichförmigkeit und kostengünstiger 300mm Substratfähigkeit. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S nutzt ein hocheffizientes und leistungsstarkes Gasfördersystem mit einem Drei-gegen-Eins-Gaskrümmer und einem integrierten Gasdetektor. Dies ermöglicht die präzise Steuerung einzelner Gase, um eine präzise Gleichmäßigkeit zu erreichen und optimale Diffusionsprofile zu erzielen. TEL ALPHA-8 S bietet eine isolierte Zone zur einheitlichen Temperaturregelung und kann während des gesamten Prozesses relativ schnell Temperatur aufnehmen. Um einen sicheren und effizienten Betrieb zu gewährleisten, verfügt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S über die neueste Sicherheitstechnologie mit Überdruckschutz, der vor Kammerüberdrucksituationen, Notabschaltventilen und automatischer Ein-Aus-Durchflussregelung schützt. Um eine einheitliche Temperaturregelung zu gewährleisten, ist TOKYO ELECTRON Alpha 8S mit acht unabhängig voneinander gesteuerten und thermisch gekoppelten Lastschlössern ausgestattet. Mit einer präzisen Temperaturregelung über mehrere Lastschlösser ist es möglich, eine optimierte Wafer-Temperaturregelung mit verbesserter Produktivität und Wafer-Kühlzeit zu erreichen. ALPHA-8 S umfasst auch eine fortschrittliche Rezept- und Prozesssteuerungsschnittstelle. Diese intuitive Steuereinheit ermöglicht es Benutzern, Rezepte und Prozessschritte mit wenigen Mausklicks zu erstellen, zu überprüfen, zu überwachen und anzupassen. Die Batch-orientierte Software erhöht die Flexibilität des Prozesses, indem Benutzer Produkte oder Rezepte bei Bedarf anpassen können. Neben diesen Merkmalen bietet TOKYO ELECTRON ALPHA-8S auch ein breites Sortiment an Spezialzubehör. Dazu gehören Ripple Suppressoren, katalytische Pumpen, Kammern, Prozessgase, Gasanalysatoren und Heizungen sowie eine Vielzahl von Halterungen für Wafer bis 150 mm. All dieses Zubehör wurde entwickelt, um Benutzern ein komplettes und effektives Paket zu geben, auf das sie sich verlassen können. Insgesamt ist ALPHA 8 S eine hochmoderne Diffusionsofenmaschine mit überlegenen Prozessen und Technologien, die für zuverlässige und zuverlässige Halbleiteranwendungen entwickelt wurden. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verwendet ein hocheffizientes und fortschrittliches Steuerwerkzeug und bietet eine präzise Temperaturregelung und schnellere Diffusion mit überlegener Heizungsgleichförmigkeit und Substratkompatibilität.
Es liegen noch keine Bewertungen vor