Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9054816 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um eine Mehrzweckausrüstung, die sowohl für Massen- als auch für Geräteprozesse verwendet werden kann. TEL ALPHA-8S ist ein vertikaler Diffusionsofen, der maximale Prozesstemperaturen bis 1.250 ° C aufweist. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verfügt über einen Einkammer-Ofen, der durch die Installation von dedizierten Kassetten vertikal erweitert werden kann. Die Kassetten können bei Bedarf auch vollständig aus der Kammer entfernt werden. Durch diese Flexibilität können unterschiedliche Prozessparameter auf die Kammer angewendet werden, ohne dass Änderungen an der Kassette erforderlich sind. Die Kassette ist auch für Wafer-Kassetten während der Bearbeitungsstufen konzipiert. ALPHA 8 S verwendet Strahlungsheizungs-Steuerungstechnologie, um gleichmäßige Temperaturen innerhalb der Kammer zu gewährleisten. Dieses Merkmal gewährleistet eine hervorragende Gleichmäßigkeit sowohl der elektrischen Strukturen als auch der Folienstrukturen bei Abscheide- und Ätzprozessen. Diese Hochtemperatur-Prozessergebnisse werden auch durch fortgeschrittene Analysetechniken wie Scherkraftanalyse und Pyrometer-Analysetechniken unterstützt. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verfügt zudem über ein vollautomatisches Gas Flow Control System. Diese Einheit wurde entwickelt, um die Temperatur von Ofengasen zu regulieren, um eine überlegene Gasströmungsregelung zu gewährleisten. Die automatisierte Gasstromregelung minimiert zudem die Verschmutzung durch Umgebungsluft im Zusammenhang mit Prozessausfällen. Zusätzlich zu diesen Funktionen kommt TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S mit einer großen Anzahl von Zubehör, um den effizienten Betrieb der Maschine zu erleichtern. Dazu gehören Prozessgasvorräte, ein automatisches Träger- und Kassettenentladewerkzeug, Trägerbacksysteme und ein Rechnersteuergerät. Das Computersteuerungsmodell ermöglicht eine Echtzeit-Prozessüberwachung, so dass der Bediener bei Bedarf Anpassungen vornehmen kann. Alpha 8S Diffusionsofen und Zubehörpaket ist eine hochwertige Ausrüstung, die entwickelt wurde, um hochwertige Halbleiterbauelemente zuverlässig und effizient herzustellen. Die Kombination fortschrittlicher Heide-, Gas- und Computersteuerungsfunktionen ist TEL Alpha 8S die ideale Wahl für jeden Wafer-Herstellungsprozess.
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