Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9060551 zu verkaufen

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ID: 9060551
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
Nitride Furnace, 8" Interface cassette, 8" 100 wafer load size with 150 upgrade & end-effector available Facilities entry at bottom Wide body style Right sided Brooks 5964 MFCs MFC 1 - 20 slm N2 MFC 2 - 500 sccm N2 MFC 3 - 3 slm N2 MFC 4 - 100 sccm Ar MFC 5 - 2 slm NH3 MFC 6 - 500 sccm SiH2Cl2 Edwards QDP80 /QMB1200 Pump stack SOLA UPS NBest battery back up Heat traced exhaust line with system MKS heated throttle valve model 653B-13162 Main controller is TS 4000Z 1000 C heater core Lip seal: No Inner T / C8 Linear aligner UP/DOWN axis slide motions Single or 5 wafer loading Variable pitch: No Tube, external Nitride 07-00106 Tube, internal Nitride 07-00218 Injector #1 Nitride 12mm 07-00219 Injector #2 Nitride 45mm 07-0220 Injector #3 Nitride 500mm 07-00221 Cover, cap Nitride 07-0225 Pedestal, Nit / All / Ann 07-00227 Pedestal cover, Nit / Al / Ann 07-00227 Boat, Sic 07-00124-00 Process tube, 16" Rapid cooling 3 Phase Voltage: 208V 60 Hz SMIF loader: No N2 purged loadlock: No WIP Carrier storage capacity: 8 End-effector: 1 or 5 Fixed Pitch Boat rotation: Yes Furnace: Temperature controller: Model 120 (5) Zones Heater type: VMM-40-004 Rapid cooling configuration: Yes Tube seal configuration: O-ring Temperature control methodology: PID Thermocouple type: R Process gas control system: General External torch: No H2 Burn off: No Bubbler system: No Gas leak dectection: No Moisture sensor: No Process gases (LPCVD) MFC1 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: N2 Flow rate: 20 SLM MFC2 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: N2 Flow rate: 500 SCCM MFC3 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: N2 Flow rate: 3 SLM MFC4 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: Ar Flow rate: 100 SCCM MFC5 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: NH3 Flow rate: 2 SLM MFC6 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: SiH2Cl2 Flow rate: 500 SCCM MFM1 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: SiH2Cl2 Flow rate: 500 SCCM Vacuum pump: EDWARDS Blower capacity: QMB1200 Dry pump capacity: QDP80 Pressure controller: Varian-TEL LR300 Process manometer: 10 Torr MKS 625A Pressure differential manometer: 1000 Torr MKS 625A Pump manometer: 100 Torr MKS 625A Inline coldtrap: yes 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör, das entwickelt wurde, um eine präzise Verarbeitung von Halbleiterscheiben, Dünnschichtbauelementen, MEMS, optoelektronischen und anderen elektronischen Geräten zu ermöglichen. Mit TEL ALPHA-8S können auch die fortschrittlichsten Fertigungsprozesse mit bemerkenswerter Genauigkeit und hohem Durchsatz erreicht werden. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist mit einer kompakten Vakuumkammer mit einem Volumen von 95 Litern und einer sechssegmentierten Quarzkammerauskleidung für überlegene Temperaturgleichmäßigkeit ausgestattet. Dieses Design ermöglicht eine schnelle und präzise Temperaturregelung bis 1.400 ° C bei einer Temperaturgleichförmigkeit von ± 1.2 ° C. Darüber hinaus ist die zwangsluftgekühlte Heizeinrichtung so konzipiert, dass sie die Leistung für den langfristigen Einsatz aufrechterhält und optimiert. Alpha 8S ist mit einem hochpräzisen Gasverteilungssystem ausgestattet, das eine Vielzahl von Gasen - einschließlich Argon, Helium, Stickstoff und Sauerstoff - sowie reaktive Gase wie Wasserstoff und Deuterium bereitstellen kann. Diese Gasfördereinheit ist für die meisten Diffusionsprozesse von entscheidender Bedeutung, da sie eine konsistente und zuverlässige Zufuhr aller Gase zu den Zielgebieten gewährleistet. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist auch mit einer Vielzahl von fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, um Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Diese Eigenschaften schließen einen Ozonmonitor ein, um Ozonkonzentrationen an jedem Punkt im Brennofen, der Hochleistungsdruck-Kontrolle, sowie einer überaktuellen Hochleistungsüberwachungsmaschine zu entdecken, um Übertemperaturschaden und einen Infrarotheizungstemperatursensor zu verhindern, um die Temperatur des Heizungsraums zu kontrollieren und zu kontrollieren. TEL ALPHA-8 S ist für einen zuverlässigen Betrieb in einer Reinraumumgebung konzipiert, mit Funktionen wie einem Schutzgehäuse, das eine Verschmutzung der Prozesskammer verhindert, und einem optischen Überwachungswerkzeug, das offene/geschlossene Türen und Fenster erkennt. Schließlich verfügt TOKYO ELECTRON ALPHA-8S über eine Datenerfassungseinheit, die Temperaturen, Drücke, Prozesszeiten und andere kritische Prozessparameter erfassen kann. Auf diese Daten kann remote zugegriffen und zur späteren Analyse in PC-Dateien gespeichert werden. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Alpha 8S ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für die Präzisionsbearbeitung einer Vielzahl von Halbleiter- und Elektronikbauelementen. Mit seiner kompakten Vakuumkammer, der Temperaturgleichförmigkeit, dem hochpräzisen Gasfördermodell und den fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen eignet sich TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S gut für Hochleistungs-Fertigungsprozesse.
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