Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9060551 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9060551
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
Nitride Furnace, 8"
Interface cassette, 8"
100 wafer load size with 150 upgrade & end-effector available
Facilities entry at bottom
Wide body style
Right sided
Brooks 5964 MFCs
MFC 1 - 20 slm N2
MFC 2 - 500 sccm N2
MFC 3 - 3 slm N2
MFC 4 - 100 sccm Ar
MFC 5 - 2 slm NH3
MFC 6 - 500 sccm SiH2Cl2
Edwards QDP80 /QMB1200 Pump stack
SOLA UPS
NBest battery back up
Heat traced exhaust line with system
MKS heated throttle valve model 653B-13162
Main controller is TS 4000Z
1000 C heater core
Lip seal: No
Inner T / C8
Linear aligner UP/DOWN axis slide motions
Single or 5 wafer loading
Variable pitch: No
Tube, external Nitride 07-00106
Tube, internal Nitride 07-00218
Injector #1 Nitride 12mm 07-00219
Injector #2 Nitride 45mm 07-0220
Injector #3 Nitride 500mm 07-00221
Cover, cap Nitride 07-0225
Pedestal, Nit / All / Ann 07-00227
Pedestal cover, Nit / Al / Ann 07-00227
Boat, Sic 07-00124-00
Process tube, 16"
Rapid cooling
3 Phase
Voltage: 208V
60 Hz
SMIF loader: No
N2 purged loadlock: No
WIP Carrier storage capacity: 8
End-effector: 1 or 5 Fixed Pitch
Boat rotation: Yes
Furnace:
Temperature controller: Model 120
(5) Zones
Heater type: VMM-40-004
Rapid cooling configuration: Yes
Tube seal configuration: O-ring
Temperature control methodology: PID
Thermocouple type: R
Process gas control system:
General
External torch: No
H2 Burn off: No
Bubbler system: No
Gas leak dectection: No
Moisture sensor: No
Process gases (LPCVD)
MFC1 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 20 SLM
MFC2 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 500 SCCM
MFC3 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 3 SLM
MFC4 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: Ar
Flow rate: 100 SCCM
MFC5 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: NH3
Flow rate: 2 SLM
MFC6 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: SiH2Cl2
Flow rate: 500 SCCM
MFM1 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: SiH2Cl2
Flow rate: 500 SCCM
Vacuum pump: EDWARDS
Blower capacity: QMB1200
Dry pump capacity: QDP80
Pressure controller: Varian-TEL LR300
Process manometer: 10 Torr MKS 625A
Pressure differential manometer: 1000 Torr MKS 625A
Pump manometer: 100 Torr MKS 625A
Inline coldtrap: yes
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör, das entwickelt wurde, um eine präzise Verarbeitung von Halbleiterscheiben, Dünnschichtbauelementen, MEMS, optoelektronischen und anderen elektronischen Geräten zu ermöglichen. Mit TEL ALPHA-8S können auch die fortschrittlichsten Fertigungsprozesse mit bemerkenswerter Genauigkeit und hohem Durchsatz erreicht werden. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist mit einer kompakten Vakuumkammer mit einem Volumen von 95 Litern und einer sechssegmentierten Quarzkammerauskleidung für überlegene Temperaturgleichmäßigkeit ausgestattet. Dieses Design ermöglicht eine schnelle und präzise Temperaturregelung bis 1.400 ° C bei einer Temperaturgleichförmigkeit von ± 1.2 ° C. Darüber hinaus ist die zwangsluftgekühlte Heizeinrichtung so konzipiert, dass sie die Leistung für den langfristigen Einsatz aufrechterhält und optimiert. Alpha 8S ist mit einem hochpräzisen Gasverteilungssystem ausgestattet, das eine Vielzahl von Gasen - einschließlich Argon, Helium, Stickstoff und Sauerstoff - sowie reaktive Gase wie Wasserstoff und Deuterium bereitstellen kann. Diese Gasfördereinheit ist für die meisten Diffusionsprozesse von entscheidender Bedeutung, da sie eine konsistente und zuverlässige Zufuhr aller Gase zu den Zielgebieten gewährleistet. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist auch mit einer Vielzahl von fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, um Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Diese Eigenschaften schließen einen Ozonmonitor ein, um Ozonkonzentrationen an jedem Punkt im Brennofen, der Hochleistungsdruck-Kontrolle, sowie einer überaktuellen Hochleistungsüberwachungsmaschine zu entdecken, um Übertemperaturschaden und einen Infrarotheizungstemperatursensor zu verhindern, um die Temperatur des Heizungsraums zu kontrollieren und zu kontrollieren. TEL ALPHA-8 S ist für einen zuverlässigen Betrieb in einer Reinraumumgebung konzipiert, mit Funktionen wie einem Schutzgehäuse, das eine Verschmutzung der Prozesskammer verhindert, und einem optischen Überwachungswerkzeug, das offene/geschlossene Türen und Fenster erkennt. Schließlich verfügt TOKYO ELECTRON ALPHA-8S über eine Datenerfassungseinheit, die Temperaturen, Drücke, Prozesszeiten und andere kritische Prozessparameter erfassen kann. Auf diese Daten kann remote zugegriffen und zur späteren Analyse in PC-Dateien gespeichert werden. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Alpha 8S ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für die Präzisionsbearbeitung einer Vielzahl von Halbleiter- und Elektronikbauelementen. Mit seiner kompakten Vakuumkammer, der Temperaturgleichförmigkeit, dem hochpräzisen Gasfördermodell und den fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen eignet sich TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S gut für Hochleistungs-Fertigungsprozesse.
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