Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9060562 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9060562
Vacuum anneal furnace, 8"
8" Interface cassette
Through wall installation
H2 and N2 Anneals
Brooks 5964 MFCs
MFC 1 - N2 10 slm
MFC 2 - N2 10 slm
MFC 3 - H2 5 slm
MFC 4 - H2 10 slm
MFC 5 - H2 5 slm
(2) Hydrogen detectors
(100) Wafer loads
1200C Heat range core
Rapid cool
Lipseal, Inner T/C, linear aligner up / down axis side motions
No variable pitch: Single or (5) wafer
16" Process tube
TS-4000Z Controller
Temperature controller: Model 121
Boat, CLN OX - 07-00202
Cover pedestal - 07-00204
Pedestal - 07-00205
PFA tube (6.35x4.35x1.0T)
3 Phase
Voltage: 208V
Direction: Left
Load station:
(2) I/O Ports
(2) Cassette arms
SMIF Loader: No
N2 Purged loadlock: No
WIP Carrier storage capacity: 8
End effector: 1 or 5, Fixed pitch
Wafer spacing: Fixed
Boat rotation: No
Furance:
(5) Zones
Heater type: VMM-35-001
Rapid cooling configuration: No
Tube seal configuration: O-ring
Temperature control methodology: PID
Thermocouple: Type R
External torch: No
H2 Burn off: No
Bubbler system: No
Gas leak detection: Yes (H2 and O2)
Moisture sensor: No
Process gases (atmospheric): N2, H2
MFC1 Model / type: Brooks 5964
Process gases: N2
Flow rate: 20 SLM
MFM1: Model / type: Brooks 5964
Process gases: N2
Flow rate: 10 SLM
MFC2 Model / type: Brooks 5964
Process gases: H2
Flow rate: 5 SLM
MFC3 Model / type: Brooks 5964
Process gases: H2
Flow rate: 10 SLM
MEC4 Model / type: Brooks 5964
Process gases: H2
Flow rate: 5 SLM
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Pressure controller: VARIAN LR300
Process manometer: MKS 625A 100
Pressure differential manometer: MKS 625A 1000
Inline cold trap: No
Inline particle trap: No
Manuals.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist eine Hochleistungs-Diffusionsofenanlage zur Herstellung von MEMS, Halbleiter-, Flachbildschirmen und Metalloxid. Es verfügt über eine in sich geschlossene Ofenkammer mit einem automatisierten mehrstufigen Prozess, der für fortschrittliche thermische Prozessparameter optimiert ist. Es verwendet einen computergesteuerten Prozess, um alle Heiz- und Kühlvorgänge der Ofenkammer zu steuern. TEL ALPHA-8S ist ausgestattet mit einer Quarzabscheidung belichtete manuelle und Auto-Tiegel, Infrarot-Strahler, variable Luftkühlung, und andere erweiterte Prozesseinstellungen, sowie TEL patentierte' Lone Beacon 'Heizung, die HF-Energie in die Kammer leitet, um schnell und präzise heizen oder kühlen die Ziellast. Unterschiedliche Prozessgrößen wie Temperatur, Zeit, Druck und atmosphärische Gase können je nach Anwendungsanforderungen eingestellt werden. Diese Spitzentechnologie bietet unübertroffene Leistung für kritische thermische Verarbeitungsanwendungen, sodass Anwender die Vorteile fortschrittlicher Prozesseinstellungen für hohe Erträge und hochpräzise Ergebnisse nutzen können. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verfügt über eine integrierte Abgasanlage zur Entfernung schädlicher Gase und luftgetragener Partikel sowie über einstellbare Funktionen für verschiedene Prozessanwendungen wie Metalloxid- und Siliziumwaferbearbeitung. ALPHA 8 S ist eines der zuverlässigsten und effizientesten Systeme, mit 100% Testabdeckung bietet unübertroffene Qualitätsergebnisse. Temperaturgleichmäßigkeit ist Benchmark-Einstellniveau, erreicht +/- 5 ° C sowie präzise Druckregelung mit 0,01 kPa Auflösung. Seine intuitive Benutzeroberfläche macht es einfach zu lernen und zu nutzen, und die digitalen Steuerungen ermöglichen eine einfache Prozessoptimierung. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S bietet darüber hinaus eine Reihe sicherheitsrelevanter Funktionen wie Open-Touch-Interlocks, automatisches Herunterfahren bei erkannter Übertemperatur oder -druck sowie automatisches Vorheizen und Abkühlen. Diese vielseitige Maschine wurde entwickelt, um strenge industrielle Standards zu erfüllen und ist somit eine ideale Wahl für die fortschrittliche thermische Verarbeitung.
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