Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9078699 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9078699
Furnace, 8"
Process: Poly
Safety specification: TEL Standard
System power rating:
AC200V, 3P / AC100V, 1P
Loading configuration:
(4) Loaders / (127) Wafer Slots
Process pressure (Torr): Low pressure
Process temperature: 600º C
FTP Heater: Installed
Rapid cooling unit: Installed
Heater type: VOS-40-017
Process gases:
Process gas MFC 1,2,3,4: N2
Process gas MFC 5, 6: SiH4
Process gas MFC 7, 8, 9: PH3
Gas system:
Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni
Air valve: FUJIKIN Diaphragm type
Mega-mini and block
MFC: STEC SEC-74 series
Check valve: FUJIKIN O-ring seal type
Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Regulator: VERIFLO SQ series
Pressure transducer: NAGANO ZT 17
Others:
Joint: Gasket type: Pure nickel type
Piping material: SUS316L Up tube
Piping working method: Welding
Welding methods: Automatic welding
Gas exhaust system:
Dry pump: EBARA A150W-T
Main valve: MKS 172-1080P
Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal
Joint:
Gasket
JIS Method
Piping material: SUS316BA, Stainless steel
APC: MKS 253B-3-80-2, Butterfly valve
VG1: 0 to 10 Torr, Normal type
VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type
VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge
P.SW: Pueron, over pressure detect
Manifold:
Structure:
Sealing method: End point sealing
Material: SUS316L Stainless steel
Port:
Gas port: 3/8" Ultra torr
Inner T/C port: 20DAI Ultra torr
Exhaust port: 3: DIA
Cooling method: Water cooling
Safety interlock :
Gas flow low MFC: Too low gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Gas flow high MFC: Too high gas flow
Alarm: > 5%,
Abort: ± 10%
Low PCW flow: No PCW supply
Alarm: > 3 min
Abort: > 5 min
Heater break down: > 7 min
PCW Leak detection: Alarm
Process heater over temperature: Chamber over heat
Heater break down: > 3 sec
Furnace area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
SCR Area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
Interruption of electric power: Alarm
Abort: < 3 sec
Heater break down: > 3 sec
Gas flow sequence: Alarm,abort
Pump off: Alarm, abort
Pump trouble: Alarm
Pressure low (reactor tube pressure): Alarm, abort
Pressure high (reactor tube pressure): Alarm, abort
.
Leak check (reactor tube pressure):
Main valve off delay: 10 min
Abort: > 20mTorr
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör vom führenden japanischen Halbleiterausrüster TEL. Es ist für den Einsatz bei der Herstellung einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen ausgelegt. TEL ALPHA-8S verfügt über fortschrittliche Diffusionstechnologie und Zubehör, um eine schnelle und effiziente Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Diffusionsofen besteht aus einer oberen Konvektionszone und einer unteren Strahlungszone, die jeweils optimiert ist, um das beste Temperaturprofil und Strömungsprofil für eine schnelle, gleichmäßige Erwärmung einzelner Halbleiterbauelemente bereitzustellen. Der Ofen verfügt über eine exklusive Gas Nitriding Equipment (GNS) zur Herstellung von Hochleistungsnitridschichten. Die integrierte Umgebungstemperaturregelung sorgt dafür, dass das Gerät auf der optimalen Temperatur gehalten wird. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S verfügt über mehrere erweiterte Funktionen für hohe Leistung und Flexibilität. Es verfügt über „Multi-Zone“ -Technologie, die bis zu 4 separate Gleichtemperaturzonen für die gleichzeitige Batch- und Single-Wafer-Verarbeitung bietet. Es verfügt auch über eine patentierte automatische Temperaturregelung (ATCS), die den Heizprozess automatisch anpasst, um Materialeigenschaften zu optimieren und Fehler zu minimieren. Alpha 8S ist mit den neuesten Gaskästen ausgestattet und kann für jeden Verarbeitungsschritt verschiedene Gasarten verwenden. Für die Herstellung komplexer Komponenten bietet TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S eine umfangreiche Suite an Zubehör. Dazu gehören eine Sputterstation, eine stromlose Beschichtungsstation und eine Laserabhebekammer. Für die Vor-Ort-Auswertung komplexer Komponenten steht ein hochpräzises Multi-Kontakt-Messtechnik-Modul zur Verfügung. ALPHA 8 S kann als Teil einer größeren Produktionsmaschine oder als eigenständiger Diffusionsofen eingesetzt werden. Die Benutzeroberfläche ist sehr intuitiv und ermöglicht eine einfache Programmierung und Wartung. Darüber hinaus ist TEL ALPHA 8 S für geringe Wartung und langfristige Zuverlässigkeit ausgelegt. Damit ist sie eine ideale Wahl für die Serienfertigung von Halbleiterbauelementen.
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