Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9216298 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9216298
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Vertical furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
Main system:
Main body
Utility box
Includes:
System layout type: U / Box Type (L)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: WMM-40-101 Mid temperature
Torch heater
SMIF: TEL Integrated SMIF
Process gases:
N2 (20SLM)
N2 (5SLM)
N2 (1SLM)
NH3 (2SLM)
DCS (200SCCM)
O2 (2SLM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air-operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris / XT200-01E
Cassette number of wafers: 25
(16) Cassettes storage
Fork type / Material: 1+4
Fork variable pitch: Variable
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation installed
System controls:
System controller: TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Power:
Voltage 3 Phase: 208 VAC
Voltage 1 Phase: 120 VAC
UPS Input voltage / Output voltage: 230 V / 230 V
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein industrielles Diffusionsofen und Zubehörpaket, perfekt für die Herstellung von Halbleitern und anderen Geräten. TEL ALPHA-8S basiert auf einer Quarzkassette-Linear-Transfer-Plattform (QCLT), einer bahnbrechenden Technologie mit unübertroffener Kontrolle, Genauigkeit und Reproduzierbarkeit in der Halbleiterherstellung. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verfügt über eine fortschrittliche 8-stufige Prozesskammer zur Bereitstellung von Hochleistungsglühen, Drive-In und anderen Diffusionsprozessen. Mit programmierbarer Temperaturregelung auf jeder Bühne kann TOKYO ELECTRON Alpha 8S Materialien schnell erhitzen und kühlen, um perfekt konsistente Mikrostrukturen mit engen Prozessparametern und einheitlichen Geräteeigenschaften zu bilden. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S verfügt auch über einstellbare Wärmequellen und kleinflächige Funktionen für vollständige Flexibilität in potentiellen Prozesskonfigurationen. Das Paket enthält integrierte Reflektorsysteme für maximale Gleichmäßigkeit der Strahlung, die eine hochpräzise Regelung der Temperaturprozesse ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S umfasst auch mehrere Abschirm- und Vakuumsysteme, um einen sicheren und ununterbrochenen Diffusionsprozess zu gewährleisten. Das Paket enthält ein Septumventil und einen Gasauswahlschrank, mit dem Sie während des Prozesses schnell und reibungslos zwischen verschiedenen Gasen wechseln können. TEL Alpha 8S verfügt auch über ein automatisches Leckprüfsystem, um die Integrität der Kammer zu überwachen und Gaslecks schnell zu erkennen. In Sachen Sicherheit verfügt TEL ALPHA 8 S über eine Vielzahl von Sensoren und Monitoren zur Erkennung potenzieller Prozessgefahren. Das Paket enthält sowohl Infrarot- als auch konventionelle Pyrometer für präzise Temperaturmessungen, um genaue, sichere und reproduzierbare Diffusionsprozesse mit TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S zu gewährleisten. Neben seinen hervorragenden, automatisierten Diffusionsfunktionen bietet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S auch eine komplette Suite. Das Paket umfasst pneumatische Ladesysteme, Thermoelementschaltungen, Sensor- und Steuerungssysteme sowie mehrere optionale zusätzliche Sensoren, Monitore und mehr. Insgesamt sind ALPHA-8 S Diffusionsofen und Zubehörpaket die perfekte Lösung für präzise und konsistente Diffusionsprozesse. Zuverlässig, sicher und mit einer kompletten Auswahl an Steuerungen und Zubehör sorgt dieses Paket dafür, dass Ihr nächster Diffusionsprozess ein Erfolg wird.
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