Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227415 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen & Zubehör maßgeschneidert für Silizium-auf-Isolator (SOI) und Silizium-auf-Saphir (SOS) Technologien. Es wurde mit den neuesten Innovationen in der Verfahrenstechnik, Steuerungssystemen und höchsten Sicherheitsstandards konzipiert und ermöglicht eine hervorragende Prozessflexibilität für die Waferbearbeitung in der Halbleiterherstellung. TEL ALPHA-8S verfügt über eine Plasmaätzanlage, ein Oxidationssystem, eine Abgasanlage, eine Temperaturmessanzeige und einen Lastanschluss. Das elektrostatische Spannfutter (ESC) unterstützt die Aufrechterhaltung der Wafertemperatur und die Steuerung des für SOI- und SOS-Technologien kritischen temperaturempfindlichen Oxidätzprozesses. Die Hardware des ESC befindet sich auf der Rückseite, die Vakuumperlen befinden sich auf der Rückseite. Es verfügt über einen Hochtemperaturofen, der bis zu 1050 ° C verarbeiten kann und in einer fortschrittlichen Abgasmaschine mit einem Heizkammer-Gegendruckwerkzeug für hohe Sicherheit enthalten ist. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verfügt außerdem über einen Controller mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) und einem Fernüberwachungsgerät, mit dem Benutzer ihren Prozess von entfernten Standorten aus überwachen können. Dieses Fernüberwachungsmodell verwendet einen Webserver und eine Browser-Schnittstelle, die es den Betreibern ermöglicht, Rezepte mit Leichtigkeit anzupassen. Es protokolliert auch Temperatur- und Druckmessungen, chemische Konzentrationen und Abgasdurchsätze für Inspektion und Analyse. Eine optionale Zerstäubungsanlage kann in TEL Alpha- 8S integriert werden, um feine Gruppen von schwimmenden Partikeln zu erzeugen und eine gleichmäßige Verteilung der Partikel über den Wafer zu ermöglichen. Dieses System kann auch verwendet werden, um die Abscheidungsrate und das Muster von Filmmaterialien wie Silizium und Siliziumdioxid zu modifizieren. Neben seinem robusten Funktionsumfang hält ALPHA 8 S die höchsten Sicherheitsstandards der Branche ein und sorgt für eine saubere und sichere Arbeitsumgebung, wodurch die Risiken gefährlicher Chemikalien und Materialien kontrolliert und überwacht werden. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S ist mit seiner fortschrittlichen Verfahrenstechnik und Überwachungsfunktion das perfekte Werkzeug für die SOI- und SOS-Verarbeitung in der modernen Halbleiterindustrie.