Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257734 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein computergesteuerter Diffusionsofen und Zubehör, der zur Herstellung integrierter Schaltungen aus Einkristall-Silizium-Wafern verwendet wird. TEL ALPHA-8S wurde entwickelt, um eine hohe Durchsatzverarbeitung und Gleichmäßigkeit über die Bearbeitungsebene zu gewährleisten, wodurch komplexe Strukturen mit einem Minimum an manuellem Eingriff hergestellt werden können. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist mit einem vertikalen 3-teiligen Laderohr ausgestattet, das aus einer Quarzhülse, einer Keramikhülse und einem Metallgehäuse besteht. Die vertikale Beladungskonfiguration wurde entwickelt, um den gesamten beladenen Wafer mit der Hochtemperaturzone in der Ofenmitte auszurichten. Dies gewährleistet eine gleichmäßige hohe Temperatur in der gesamten Ladefläche und steuert die vertikale Konvektion von Heißluft, die Oxidations- und Oxidationsschäden am Wafer verhindert. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S hat drei Heizzonen (HZ): die Vorwärmezone (PHZ), die Lastzone (LZ) und die Prozesszone (PZ). Der PHZ reicht von 100 ° C bis 200 ° C und wird zur Erwärmung der Wafer auf die gewünschte Temperatur vor Eintritt in das LZ verwendet. Das LZ ist in zwei Bereiche unterteilt, den oberen Bereich (TR) und den unteren Bereich (BR). Beide Bereiche sind mit einem unabhängigen Gas- und Temperaturregelsystem ausgestattet, das eine präzise Steuerung von Gasstrom und Temperatur ermöglicht. Das LZ wird auf Temperaturen von 800 ° C bis 1300 ° C mit einer Temperaturgleichförmigkeit von +/-5 ° C über die gesamte Ladeebene erhitzt. Die PZ kann Temperaturen von 1500 ° C bis 1800 ° C erreichen und dabei eine Gleichmäßigkeit von +/-5 ° C über die gesamte Prozessebene aufrechterhalten. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S bietet auch ein umfassendes Zubehör wie Gassteuerkonsolen, Waferheber, Quarz- und Keramikrohrbaugruppen, spezielle Tiegel und Türverriegelungen, die die Funktionalität verbessern. TOKYO ELECTRON Alpha 8S kann an die speziellen Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden. Optionen werden in der Anleitung manuell, über einen PC oder über ein Panel-Display bereitgestellt. Alpha 8S bietet überlegene Prozesssteuerung in Form von TEL Advantage Software für Windows 95/98/NT. Diese leistungsstarke Software wurde entwickelt, um die Prozesssteuerung zu vereinfachen, indem der Betrieb des Ofens vereinfacht, die Einrichtung des Prozesses unterstützt und die Datenerfassungsfähigkeit bereitgestellt wird. Die Software bietet auch die Datenanalyse und Sammlung von vordefinierten Datensätzen für die statistische Analyse. TEL ALPHA 8 S ist eine hervorragende Kombination aus Leistung, Technologie und Komfort, die es ermöglicht, hohe Durchsätze und einheitliche integrierte Schaltungen herzustellen. Es ist ein zuverlässiges, einfach zu bedienendes System, das für die Einzelwaferbearbeitung bis zu einer maximalen Größe von 30cm geeignet ist.