Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282766 zu verkaufen

ID: 9282766
Furnaces Process: HTO 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S Diffusionsofen ist eine hochmoderne Halbleiterherstellungseinheit mit allen notwendigen Merkmalen für einen optimalen Diffusionsprozess. Mit einem Diffusionsverfahren werden Änderungen an Halbleitermaterialien wie Bor und Phosphor vorgenommen, so dass sie in einer Vielzahl elektrischer Bauelemente eingesetzt werden können. TEL ALPHA-8S Diffusionsofen ist mit einer Vielzahl von Merkmalen ausgestattet, die umfassen: eine Hochvakuum-Diffusionskammer, eine Präzisions-Substrat-Trägerstufe, eine quarzgeschirmte Hotwall, eine hocheffiziente Gaseinspritzeinrichtung, ein Hochtemperatur-Strahlungsheizsystem und eine Gleichförmigkeitssteuereinheit. Die Diffusionskammer ist so konzipiert, dass sie eine optimale thermische Gleichmäßigkeit und Effizienz bietet und gleichzeitig maximale Sicherheit während des Diffusionsprozesses gewährleistet. Das Innere der Kammer ist durch Quarz-Floatglas geschützt, was eine gleichmäßige Erwärmung gewährleistet und eine erhöhte Sicherheit gegen Temperaturschwankungen bietet. Eine integrierte Gaseinspritzmaschine ermöglicht eine präzise Gasdiffusion, die eine präzise Abstimmung des Diffusionsprozesses ermöglicht. Die Substratträgerstufe stellt eine stabile Hochvakuumplattform zur Verfügung, auf die die Substrate belastet werden können. Dies gewährleistet eine stabile und wiederholbare Waferpositionierung auch bei langen Diffusionsläufen. Die quarzgeschirmte Heißwand sorgt für eine kontrollierte Tieftemperaturumgebung und dient dazu, die Wafer auf konstanten Temperaturen zu halten. Es ist zuverlässig und effizient und sorgt auch dafür, dass die Temperatur des Substrats nie höher als die Teilsystemtemperatur geht. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Diffusionsofen profitiert auch von einem Hochtemperatur-Strahlungsheizwerkzeug. Diese Anlage verwendet eine Reihe von Reflektoren, um eine gleichmäßige Erwärmung der Substrate zu ermöglichen. Dieses Modell hilft auch, das Risiko einer Kreuzkontamination zwischen Substraten zu reduzieren. Schließlich ist der Diffusionsofen ALPHA 8 S auch mit einer Gleichmäßigkeitskontrolleinrichtung ausgestattet, die sicherstellt, dass jedes Substrat die gleiche Behandlung erhält, was zu besseren, konsistenten Ergebnissen führt. Insgesamt ist TEL Alpha 8S Diffusionsofen ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es liefert präzise und genaue Ergebnisse mit minimalem Risiko von Kreuzkontamination und ungleichmäßiger Erwärmung, aufgrund seiner ausgeklügelten Konstruktion, High-End-Funktionen und Gleichmäßigkeitskontrollsystem.
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