Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9383405 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S (TEL ALPHA-8S) ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Herstellung von kritischen Halbleiterbauelementen. Dieser Diffusionsofen hat die Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, was einen erhöhten Durchsatz in der Produktion ermöglicht. Mit einem niedrigen Basisdruck von 5x10-7 Torr ist TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S in der Lage, bei Temperaturen von 180- 1400ᵒ C eine ausgezeichnete Prozesskontrolle durchzuführen. Die Prozesszeit ist kurz, von 5-90 Sekunden, und die Gleichmäßigkeit der Wafertemperatur ist hoch, mit einer Genauigkeit von +/-1µm/sec. Das robuste Feature & Advantage dieses Diffusionsofens sind die sehr effizienten Energieübertragungsmerkmale mit der Kombination aus Luftlager, Magnetkraft, hoher Genauigkeit und verbesserter Verarbeitung. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S bietet ein ultrahohes Nickelwiderstandsheizsystem, das es zuverlässiger und effizienter in Bezug auf die Temperaturregelung macht. Da der thermische Widerstand dieses Systems wesentlich niedriger ist als die konventionelle Widerstandsheizung, ist die tatsächliche Temperatur des Wafers relativ höher. Dies bietet einen höheren Durchsatz, eine reduzierte Verarbeitungszeit und eine höhere Gleichmäßigkeitskontrolle. Der Ofen verfügt auch über eine Vielzahl von automatisierten und manuellen Sicherheits- und Wartungsfunktionen, wie eine automatisierte Umgebungssteuerung mit Sauerstoffdurchflussüberwachung, um eine Substratoxidation zu verhindern. Die Prozessstation hat einen ESD-Schutz implementiert, um elektronische Schäden zu minimieren, sowie eine optimierte Reinigungs- und Entlüftungssteuerung für optimalen Gasfluss und maximale Reinigung. Ein optimierter Schutzmechanismus schützt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S vor möglichen Schäden durch Vakuumleckagen, Überdruck und übermäßige Waferbelastung. Insgesamt ist TEL ALPHA 8 S Diffusionsofen eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die eine höhere Produktivität für die Produktion von kritischen Halbleiterbauelementen erreichen möchten. Mit seinem niedrigen Basisdruck, der genauen Temperaturregelung und den optimierten Sicherheits- und Wartungsmerkmalen bietet TOKYO ELECTRON Alpha 8S eine hervorragende Leistung für optimierte Erträge.
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