Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9062879 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9062879
LP-CVD System, 8"
Nitride / Poly / D-POLY / HTO
Signal tower: 4-color
Manual: no
History car: no
Cassette stage: ETC: 12+6 stage
I/O Port: Cassette
Loadlock type: no
Main controller: TS-4000
Vacuum pump: A150W-T
APC type: N2 ballast
Using gas: CDA, P-N2, G-N2, ETC: SiH2Cl2, NH3, N2O
Vacuum trap: no
FTPS: no
Temp. controller type: 120-12
MFC: (6) STEC, (3) MFM
Tweezer VAC no
Tweezer QTY: 5 (4+1)
Variable pitch: yes
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SC ist ein doppelschaliger Diffusionsofen und Zubehör, eine Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es soll eine optimale Umgebung für die Abscheidung verschiedener Materialien auf Wafern bieten. Dieser Diffusionsofen bietet seinen Anwendern ein breites Spektrum an Funktionalität, von der Hochtemperaturoxidation bis zur Niedertemperatur-Bor-Implantation. TEL ALPHA 8 SC verfügt über eine große Quarz-Suszeptor-Kammer, die hervorragende Gleichmäßigkeit und Wärmeleitfähigkeit für eine effizientere Verarbeitung bietet. Seine hochleistungsfähigen linearen Elektronen-Zyklotron-Frequenzheizsysteme können Temperaturen von bis zu 1500 ° C erreichen. Dieses Gerät ist mit zwei emissionsarmen Pyrometern ausgestattet, die eine Echtzeitüberwachung der Temperaturen auf Suszeptorebene während des Betriebs ermöglichen. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C bietet zudem ein automatisiertes Batch-System mit bis zu 64 Prozessen, die eine vollständige Prozesssteuerung und Datenerfassung gewährleisten. Elektrostatische Spannfutter sind auch mit dieser Maschine erhältlich, um Wafer während der Verarbeitung sicher zu halten, mit einem verstellbaren Spiegel, um das ankommende Plasma zu lenken. 8SC vereinigt Hochleistungs-, Hochleistungsgasaustauschtechnologie, die netzähnlich bietet, glühen Profile und Prozessstabilität mit schnelleren Produktionsgeschwindigkeiten aus. Um eine effiziente Leistung zu ermöglichen, halten moderne Lüftertrennsysteme abgereicherte Gase und Partikel vom Arbeitsbereich fern. Überdrucksysteme schützen auch Wafer vor Oberflächenverschmutzung im Betrieb. TEL Alpha 8SC wurde entwickelt, um einen hochautomatisierten, leistungsstarken Betrieb anzubieten. Es verwendet SafetyPlus-Software, die eine schnellere, reibungslosere Inbetriebnahme sowie einfachere und schnellere Debug- und Upgrade-Prozesse für einen zuverlässigeren Betrieb ermöglicht. Das 8SC wird auch mit HyperDrive geliefert, einer optionalen Fernbedienung für Benutzer, die Prozesse aus der Ferne überwachen und steuern möchten. Zusammenfassend ist Alpha 8SC eine anspruchsvolle Diffusionsofen- und Zubehörlösung, die sich hervorragend für die Waferbearbeitung mit hoher Effizienz und Genauigkeit eignet. Es ist die modernste Lösung für die moderne Halbleiterherstellung und wird sicherlich eine wertvolle Ergänzung zu vielen Fertigungsanlagen sein.
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