Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9206232 zu verkaufen

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ID: 9206232
Furnace 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SC ist ein Diffusionsofen und Zubehörset, das speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Die 7-Kammer-Ausstattung ist mit zwei Kassettenladern ausgestattet und kann bis zu 5.000 Wafer pro Stunde bearbeiten. Es verfügt auch über ein modernes Back-to-Back-Heizsystem für eine schnellere und konsistentere Heizung. TEL ALPHA 8 SC verwendet eine patentierte Glüheinheit, die als TEL High Speed Annealing (HSA) bekannt ist, um thermische Budgets höchster Qualität und ein Minimum an Wärmeverlust zu erreichen. HSA verwendet eine innere Deckelmaschine, um Gas schnell und genau einzuführen und zu entfernen. Es verwendet auch ein „schwimmendes Druck- und Temperaturwerkzeug“, um eine übermäßige Erwärmung oder Kühlung zu verhindern. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C ist mit Leichtigkeit der Bedienung im Auge entworfen. Die benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche macht es einfach, die Funktionen der Kammer zu steuern. Darüber hinaus sorgt die intuitive Software für eine einfache Bedienung aller Funktionen der Kammer. ALPHA 8 SC beinhaltet TOKYO ELECTRON Pyro-Direct Thermal Processing (PDTP) Hardware, die eine leistungsstarke, genaue Temperaturmessung und -kontrolle bietet, um die höchsten thermischen Budgets zu gewährleisten. Darüber hinaus wird die innovative Aufdampfanlage entwickelt, um einheitliche Folien während des gesamten Prozesses für maximale Produktqualität bereitzustellen. TOKYO ELECTRON Alpha 8SC kommt mit einem integrierten Prozessanalysator, der Echtzeit-Messung der Substrate für verbesserte Prozessrate und Ausbeute bietet. Darüber hinaus kann der Anwender mit dem externen TEL/TOKYO ELECTRON Global Real-Time Analyzer (GRTA) Temperaturen und andere Prozessparameter messen und anpassen, um die Leistung zu optimieren. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC enthält auch TEL Smart Model, das eine Reihe von erweiterten Fehlererkennungs- und Korrekturfunktionen zur Überwachung der Wafertemperatur, des Drucks und der Prozessgaswerte während des Prozesses bietet. Es unterstützt auch fortschrittliche Steuerungstechniken wie Predictive Modeling und Online-Tuning, um die Prozessleistung zu optimieren. TEL ALPHA 8S-C ist auf Prozessvielfalt ausgelegt. Seine breite Palette an Kompatibilität ermöglicht es, eine Vielzahl von Substraten und Prozessströmen zu handhaben. Es wurde auch mit einer einfachen Kühlausrüstung entwickelt, um den Übergang von einem Prozess zum anderen reibungsloser und schneller zu gestalten. Insgesamt ist Alpha 8SC ein hochentwickelter, zuverlässiger und energieeffizienter Diffusionsofen und Zubehörsatz, der überlegene Leistung, einfache Bedienung und Prozessvielfalt für die Halbleiterproduktion bietet.
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