Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9313419 zu verkaufen

ID: 9313419
Weinlese: 1998
Furnace 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SC ist ein fortschrittlicher Modell Diffusionsofen, der eine Vielzahl von Heiz-, Glüh- und Abscheidungsprozessen durchführen soll. Es verfügt über ein modernes Design, das sicherstellt, dass es für nahezu jede Art von Prozess verwendet werden kann. Die verschiedenen Komponenten, die den Ofen bilden, bestehen aus einem inneren Glockenquarzrohr, einer Heizung und einem äußeren Zylinder, die eine hochpräzise Temperaturregelung und eine gleichmäßige Erwärmung ermöglichen. Der Ofen ist mit einer zweistufigen Quarz-Abgasanlage sowie einer großen rechteckigen Abgasöffnung für maximalen Abgaswirkungsgrad ausgestattet. In den Ofen wurden eine Vielzahl fortschrittlicher Sensorsysteme eingebaut, wie zwei Thermoelemente zur Temperaturüberwachung, ein Druckmonitor zur Druckmessung im Quarzrohr sowie eine Vielzahl von Fernsensoren zur Überwachung von Ofenbedingungen wie Temperatur und Druck in Echtzeit. TEL ALPHA 8 SC ist mit einer Vielzahl von Zubehörteilen ausgestattet, die eine Vielzahl von Prozessen ermöglichen. Dazu gehören ein motorisierter Wafer und Deckelpositionierer, die Heißwand- und Kaltwandprozesse ermöglichen, sowie eine Reihe von Probenhaltern, Produktionsringen und Schilden, um unterschiedliche Probengrößen aufzunehmen. Ein Verriegelungssystem ermöglicht die Befestigung verschiedener Größen von Wafern während der Prozesse. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C verfügt zudem über eine integrierte Abscheideeinheit, die eine präzise Abscheidung von Dünnschichtschichten auf Wafern ermöglicht. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer Stickstoffreinigungsmaschine und einer Edelstahl-Reaktionskammer, die Verschmutzungen durch Außenluft und andere Verunreinigungen verhindert. Der Ofendeckel ist doppelt abgedichtet, um zu verhindern, dass Dämpfe und Partikel in den Arbeitsraum gelangen. Darüber hinaus sorgt ein offenes Quarzrohr mit einem Rohrradius weniger als 25 cm dafür, dass der Ofen eine Atmosphäre bei nahezu atmosphärischem Druck halten kann. Eine automatisierte Tür ist ebenfalls enthalten, die ein Öffnen des Ofens vor dem Abkühlen verhindert und zusätzliche Sicherheit bietet. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der modernstes Design mit fortschrittlichen Funktionen kombiniert, um maximale Temperaturkontrolle, gleichmäßige Heizung und Kontaminationsverhütung zu gewährleisten. Die breite Palette an Zubehör ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen und das integrierte Abscheidewerkzeug ermöglicht eine präzise Dünnschichtabscheidung. Die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale gewährleisten, dass der Betrieb des Ofens immer sicher durchgeführt wird.
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