Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9383796 zu verkaufen
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ID: 9383796
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Furnace, 8"
Process: ISC-Si3N4
Heater type: VOS-40-017 (400°C - 850°C)
(100) Sheets
Forced air cooling unit
Quartz jig:
(2) 1105-300526-12 Fin hoon tows
1105-301109-12 Honto cover
1105-301109-12 Insulation cylinder cover (CAP-SIN)
(2) 1105-301121-12 GUYCANs
(2) 1105-301122-12 NIKONs
(2) 1105-301123-13 Manifold covers
1105-100420-14 SEKI ABOTO
Pump
Seismic isolation table
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SC ist ein Diffusionsofen und Zubehör für den Einsatz in großen Halbleiterherstellungsprozessen. Das Gerät ermöglicht eine präzise Regelung der Wafertemperatur, der Stromversorgungsstufen und der eigenen Betriebsparameter. Als fortschrittliches Werkzeug für die Herstellung hochleistungsfähiger integrierter Schaltungen kann es eine Vielzahl von Prozessen durchführen, einschließlich mehrschichtiger Diffusion, Glühen und Oxidation sowie selektiver Emitter-, CMP-, Niedertemperaturglüh- und Cu-Umverteilungsschichten. TEL ALPHA 8 SC verfügt über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche mit einer anpassbaren Betriebsumgebung. Das System umfasst auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie eine doppelwandige Außenkammer, die Turbine und Ofen im Falle eines Wasserstofflecks automatisch abschaltet. Der Ofen ist auch mit einer Selbstdiagnoseeinheit ausgestattet, die vorbeugende Wartungsarbeiten ermöglicht und dazu beiträgt, zeitaufwendige und teure Reparaturen zu vermeiden. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C verfügt über eine einzigartige Dual-Zone-Heizmaschine, die eine effiziente Verarbeitung empfindlicher Wafer und eine optimale Ausnutzung ihrer Fläche ermöglicht. Die Zonensteuerung wird durch einen leistungsstarken Programmieralgorithmus namens Split-Zone-Betrieb verwaltet. Diese Technologie stellt sicher, dass die Wafertemperatur für den jeweiligen Prozess optimal bleibt und gleichzeitig der Stromverbrauch minimiert wird. ALPHA 8S-C bietet ein umfangreiches Sortiment an Zubehör, darunter Duschköpfe, Hebe-/Senkmechanismen, Zonensteuerungssysteme, Übergangshalter, Lastschlösser, Rollbecherheber, Roboter, Endeffektoren, Sensoren, Pumpen und viele andere Komponenten. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer Vielzahl von Substraten kompatibel, darunter Silizium, Galliumarsenid, Kupfer, Titan, Quarz und andere. Die Leistung von TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC wird durch fortschrittliche Motoren wie Total Exhaust Management, Exhaust Profile Control und Shared Zone Control sichergestellt. Diese Eigenschaften bieten eine unübertroffene Trimmsteuerung und Temperaturstabilität für Wafer-Produktionsprozesse. TEL Alpha 8SC bietet zuverlässigen Betrieb, hervorragende Leistung und präzise Steuerung, so dass es eine ideale Wahl für die Hochvolumen-Halbleiterverarbeitung. Seine erweiterten Funktionen, Zubehör und benutzerfreundliche Schnittstelle machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Halbleiterherstellung.
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