Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293776299 zu verkaufen
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ID: 293776299
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Furnace, 8"
Process: O2 Anneal, dry oxide
Wafer shape: SNNF
Wafer cassette: Plastic, 8"
(150) Product wafers
Gas capabilities: N2, O2
TS4000Z System controller
(5) Zone heaters
Paddle control thermocouple
Reserved batch operation
Place of control T/C: Between outer tube and inner tube
(5) End effectors
Maximum temperature: 1100°C
No SMIF Interface
No N2 Load lock
No boat rotation
1997 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SD Diffusionsofen ist ein unglaublich zuverlässiger und leistungsgesteuerter Diffusionsofen für die Serienproduktion in der Halbleiterindustrie. Es bietet Kunden eine leistungsstarke und effiziente Lösung für die thermische Verarbeitung. Dieser Diffusionsofen bietet Anwendern eine höhere Durchsatz- und Durchsatzkonsistenz im Vergleich zu seinen Vorgängern. Es ist auch speziell entwickelt, um mehrere Wafergrößen von 200mm bis 6-Zoll zu handhaben, ohne dass manuelle Anpassungen oder Ausfallzeiten erforderlich sind. TEL Alpha 8SD Diffusionsofen verwendet fortschrittliche thermische Verarbeitungstechnologie für Diffusion und Oxidation bis 1000 ° C. Es hat eine ultrakompakte Bauweise, die es ermöglicht, minimale Platzmengen zu beanspruchen. Dies macht es ideal für hochdichte Produktionslinien. Die mehrfachen Wafergrößen-Handhabungsoptionen ermöglichen es Benutzern, den Durchsatz bei Bedarf leicht zu skalieren. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D Diffusionsofen verfügt über ein leistungsstarkes unabhängiges Verteilungssystem, das eine einzige dynamische Strömungsquelle umfasst. Dies ermöglicht es, Hochtemperatur- und Hochleistungsanwendungen bei gleichbleibenden Prozessparametern problemlos zu handhaben. Das nach hinten gerichtete Hochleistungssystem sorgt zudem für Gleichmäßigkeit und eine präzise thermische Steuerung während des gesamten Prozesses. Dies ermöglicht schnellere Bearbeitungszeiten und bessere Ergebnisse. Der Ofen kommt auch mit einer umfassenden Palette von fortschrittlichen Heizelementen und Kühlmöglichkeiten. Die direkt beheizte Waferunterstützung und der extrem niedrige thermische Zyklus ermöglichen schnelle thermische Rampenraten. Die erweiterten Kühloptionen helfen Wafer zu Wafer Verschmutzung zu verhindern. Darüber hinaus sorgen die erweiterten Steuerungsfunktionen für Wiederholbarkeit und hohe Präzision im Prozess. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D Diffusionsofen kommt auch mit einem 50-stufigen programmierbaren Speicher, der Prozessrezepte für bis zu 50 verschiedene Anwendungsoperationen speichert. Es kommt mit einer Windows-basierten PC Professional Suite-Software für die Prozessentwicklung und -steuerung. Die benutzerfreundliche Umgebung ermöglicht eine einfache Rezepteingabe und wiederholbare Prozesse. Benutzer können auch Prozessberichte zur Dokumentation und Rückverfolgbarkeit erstellen. Abschließend ist Alpha 8SD Diffusionsofen von TEL/TOKYO ELECTRON (TEL) ein unglaublich zuverlässiger und leistungsgesteuerter Diffusionsofen für die Serienproduktion in der Halbleiterindustrie. Es bietet Kunden eine leistungsstarke und effiziente Lösung für die thermische Verarbeitung. Dieser Diffusionsofen bietet Anwendern höhere Durchsatz- und Durchsatzkonsistenz. Mit zusätzlichen Funktionen wie einer umfassenden Palette fortschrittlicher Heizelemente und Kühloptionen, programmierbarem Speicher und einer Windows-basierten PC Professional Suite-Software ist dieser Diffusionsofen eine ausgezeichnete Wahl für Produktionslinien mit hoher Dichte.
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