Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293821901 zu verkaufen

ID: 293821901
Weinlese: 2000
Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) furnace, 8" 2000 vintage.
TELEFON / ELEKTRON-Alpha von TOKIO 8SE-E ist eine Präzisionsoblate, die für die fortgeschrittene Halbleitergerätherstellung spezifisch entworfene Technologieausrüstung bearbeitet. Das System umfasst mehrere wichtige Prozesskomponenten, um eine umfassende, automatisierte Verarbeitungslösung für die Wafer-Fertigung zu schaffen. Herzstück der Einheit ist der Diffusionsofen, der eine Reihe von hochpräzisen Verarbeitungsmöglichkeiten für Halbleiterbauelemente bietet. Bei verschiedenen Temperaturen einsetzbar, ermöglicht es die Herstellung von Teilen mit hoher thermischer Stabilität, dichter Gesamtdruckregelung und gleichmäßiger Quellpartikeldichte. Seine Backgeschwindigkeit und Zeit können vorprogrammiert werden, um bestimmte Rezepte anzupassen, während seine Temperaturgleichförmigkeit bei ± 7 ° C gehalten wird, um die Auswirkungen von thermischen Gradienten auf das Substrat zu minimieren. Die Maschine verfügt auch über eine Kaltwandkonstruktion, die die Bodenwand auf einer konstanten Temperatur hält, um Dosierung langfristige Oxidationseinschläge zu begrenzen. Zusätzlich ist die gut gestaltete Vorwärmung des Ofens, um genaue thermische Profile zu gewährleisten und das Prozessgas vor Vorwärmschäden zu schützen. Weitere Prozesskomponenten werden in TEL Alpha 8SE-E eingesetzt, um die Produktivität zu maximieren und automatisierte, qualitativ hochwertige Prozessergebnisse zu erzielen. Ein leistungsstarkes automatisches Ladewerkzeug sorgt für eine schnelle und zuverlässige Substratübertragung, während ein automatisiertes Prozess-Tracking-Asset (ATPS) die mit jedem Substratprozessrezept verbundenen Daten überwacht. Das Modell wird mit einer breiten Palette von Zubehör geliefert, darunter vertikale und seitliche Wafer-Shuttles, Backplattenadapter, Quarzwarenhalter, Gaserzeugungsgeräte und Abscheidekit-Werkzeuge, die notwendig sind, um eine optimale Leistung und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Darüber hinaus basiert das Design des Geräts auf einer einstöckigen Konfiguration mit einer ISO-zertifizierten Clean room/ISO-600-Zertifizierung, die zur Steigerung der Kosteneffizienz beiträgt und gleichzeitig eine einfache Wartung und Reparatur ermöglicht. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E bietet Anwendern ein effizientes, automatisiertes diffusionsbasiertes Prozesssystem zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente. Die robusten Komponenten, das automatisierte Steuergerät und das Zubehör bieten die für eine zuverlässige Geräteherstellung erforderliche Stabilität und Vielseitigkeit.
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