Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293817396 zu verkaufen

ID: 293817396
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Furnace, 8" Process: D-POLY L-Type system layout SUS furnace front surface finish VMM 40-101 heater N2 load lock LC750 O2 analyzer WAVES main controller Fujikin integrated gas system Fujikin manual and air-operated valves UNIT / UFC 1661 Mass Flow Controllers (MFC) MKS Pressure Transducer (PT) sensors MKS Digital Pressure Monitor (DPM) Gas flow chart and operation panels RIKEN KEIKI gas detector Auto wafer aligner Fork wafer presence sensor Magnetic seal rotation No process kit or vacuum pump 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z ist ein Diffusionsofen, der speziell für eine hervorragende Verarbeitungsleistung entwickelt wurde. Es ist in der Lage, feinste thermische Oxidation für Silizium-Photovoltaikzellen, Substrate und andere Halbleiterherstellungsverfahren zu erzeugen. Dieser hochwertige, kostengünstige Diffusionsofen verfügt über mehrere wesentliche Merkmale, die ihn für viele verschiedene Forschungs- und Industrieanwendungen geeignet machen. TEL ALPHA 8SEZ bietet überlegene thermische Eigenschaften mit einer maximalen Betriebstemperatur von bis zu 1150 ° C und einer maximalen Erwärmungsrate von 4 ° C/s, was eine schnelle und qualitativ hochwertige Wärmebehandlung ermöglicht. Der Ofen kann in zwei verschiedenen Modi arbeiten, Batch und Continuous, so dass Flexibilität bei verschiedenen Anwendungen. Der Batch-Modus ermöglicht gleichmäßigere Temperaturen mit minimalen thermischen Gradienten in der gesamten Kammer, während der kontinuierliche Modus eine präzise Temperaturregelung und eine schnelle Erwärmung und Kühlung bei Bedarf ermöglicht. Das fortschrittliche Design umfasst eine sechsschichtige Molybdänsilizid-Heizung, die eine hohe Quelle und gleichmäßige Temperaturverteilung sowie eine hohe thermische Gleichmäßigkeit über die gesamte Kammer bereitstellen kann. Der Ofen kommt auch mit einem Quarzrohrheizer und einer thermisch isolierten, doppelwandigen, 304 Edelstahlkammer für überlegene Korrosionsbeständigkeit und hohe Leistung. Dieses einzigartige Design ermöglicht eine geringe Verschmutzung und gewährleistet gleichzeitig eine hervorragende Wärmeübertragungsleistung. Dank des Echtzeit-Automatisierungssystems, das die Prozessbedingungen von Anfang bis Ende überwacht, ist der Betrieb einfach zu managen. Zur präzisen Steuerung verfügt TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z über einen digitalen PID-Regelkreis, der die Temperatur kontinuierlich überwacht und die Kontrolle innerhalb eines ± Präzisionsbereichs von 1 ° aufrechterhält. Darüber hinaus verhindert eine Schutzschicht die Oxidation während des Prozesses, wodurch hochwertige Ergebnisse erzielt werden können. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEZ kommt auch mit einer Vielzahl von Zubehörteilen, wie einem Beobachtungsfenstermonitor, einer großen individuellen Druckregelung, einem rotierenden Probenshuttle und verschiedenen Probenhaltern. All dieses Zubehör macht den Ofen noch benutzerfreundlicher und effizienter für spezielle Forschungs- und Industrieanwendungen. Dieser Diffusionsofen zeichnet sich durch modernes Design, Flexibilität, präzise Temperaturregelung und vielfaches Zusatzzubehör aus. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z ist eine ideale Lösung für Silizium-Photovoltaikzellen, Substrate und andere Halbleiterherstellungsverfahren.
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