Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293820846 zu verkaufen
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ID: 293820846
Weinlese: 2002
Furnace
High‑Temperature Oxide (HTO) Process
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das fortschrittliche Nitrid-Abscheidungsfähigkeiten und eine präzise Wafer-Prozesssteuerung bietet. Mit seinem hocheffizienten Design und seinen leistungsstarken Prozessfähigkeiten ist TEL ALPHA 8SEZ ideal für die ultradünnen, fortschrittlichen Halbleiterbauelemente aus III-V-Verbundwerkstoffen. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z ist mit einem einzigartigen und leistungsstarken Multikammer-Design ausgestattet. Dies ermöglicht hohe Temperaturen bis zu 1200 ° C sowie eine hohe Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit aufgrund des dreizonig beheizten Tiegel- und Hot-Zone-Designs, was eine höhere Effizienz bei der Herstellung von Silizium- und Verbundhalbleiterbauelementen verspricht. Der hocheffiziente Prozess wird durch eine dynamische Temperaturregelung weiter verbessert und bietet gleichmäßigere Profile in Temperatur und Abscheiderate. TEL Alpha 8SE-Z verfügt auch über zwei Vorwärm- und Lademöglichkeiten, die einen effizienten Betrieb und die Zuverlässigkeit der Ofenausrüstung gewährleisten. Durch die Verwendung der schnellen Vorwärmmoden des Ofens kann der Benutzer die Prozesszeiten verkürzen und gleichzeitig eine minimale thermische Beanspruchung der Waferkassette gewährleisten. Das System wird auch mit einer Reihe von Qualitätsüberwachungsfunktionen, wie Partikelnmaß und Gasanalyse, sowie ein Gesamtstickstoffzusammensetzungsentdecker und Endpunktüberwachungssysteme ausgerüstet. Dadurch wird sichergestellt, dass Anwender Prozessparameter überwachen und schnelle Rückmeldungen zur besseren Kontrolle der Nitrid-Anwendungen erhalten können. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z bietet auch eine optionale benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer ihre Prozessparameter bequem verwalten, Datenprotokolle anzeigen und auch den Gerätestatus einfach überwachen können. Der Controller ermöglicht auch die Netzwerkverbindung von Ofensystemen, d. h. Benutzer können auf ihre Geräte aus der Ferne zugreifen und sie verwalten und ihre Prozesse einfach überwachen und beheben. Insgesamt ist ALPHA-8SE-Z ein effizienter und leistungsstarker Diffusionsofen, der eine präzise Wafer-Prozesssteuerung und eine optimale Nitrid-Abscheidung ermöglicht. Diese Maschine ist mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen, Qualitätsüberwachungssystemen und einer bequemen Netzwerkverbindung ausgestattet und bietet eine zuverlässige und hochreine Nitridabscheidung mit höherer Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
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