Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9186048 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z ist eine Diffusionsofen- und Zubehörausrüstung, die speziell für die Verarbeitung und Herstellung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist ein Benchtop, Stand-alone-System, das 8-Zoll (200mm) Wafer von Anfang bis Ende verarbeiten kann. Das Gerät wurde entwickelt, um einen überlegenen Massentransport, einheitliche Prozesstemperaturen und schnelle Wafer-Wendezeiten zu gewährleisten. TEL ALPHA 8SEZ ist mit einer All-Aluminium-Kammer mit niedriger thermischer Masse und niedriger Wärmeleitfähigkeit ausgestattet. Diese Kammer bietet maximale Wiederholbarkeit und enge Temperaturregelung. Eine Zweizonen-Gassteuerungsmaschine mit einem hochpräzisen digitalen Durchflussregler ist integriert, um hochreines Gas für den Ofenbetrieb zu liefern. Das Werkzeug verfügt auch über eine Quarzkaltwand mit einer verstellbaren Düse für Vorwärme und Vac-Heizung. Die Düse ist verstellbar, um verschiedene Wafergrößen aufzunehmen und eine präzise Temperaturregelung zu erreichen. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z wurde speziell entwickelt, um 8 "(200mm) Wafer mit maximaler Wiederholbarkeit und Kontrolle zu verarbeiten. Das Gut ist in der Lage zu sintern, Glühen, schnelle thermische Verarbeitung, Oxidbildung und andere Prozesse. Ein Top-Be- und Entlademodell ist automatisiert, um ein schnelles Wafer-Handling mit minimalem Eingriff des Bedieners zu ermöglichen. Die Prozesskammer ist vom Regler isoliert und die Prozessstapel sind mit Doppeldichtungen ausgestattet, um ein Eindringen von Umgebungsverunreinigungen zu verhindern. TEL Alpha 8SE-Z unterstützt die Integration mehrerer Zubehörteile und Komponenten von Drittanbietern, die die Hauptausrüstung verbinden. Es ist kompatibel mit TEL in situ Prozessüberwachung durch Spektroskopie (PMX). Es ist auch kompatibel mit TIM (Thermal Imaging Module) zur Visualisierung der Probentemperatur und Prozesszone. Das System kann konfiguriert werden, um den Abscheidungsprozess mit zu automatisieren. Es ist auch kompatibel mit CVD- und PVD-Systemen, um zusätzliche Prozessschritte wie Dotierstoffaddition, Oxidation von Dotierstoffen und Oxidation von Oberflächen zu ermöglichen. Um einen optimalen Betrieb zu gewährleisten, ist TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z mit einem umfangreichen Satz von Prozessparametern ausgestattet, die mit einer Touchscreen-Schnittstelle programmiert werden können. Die Prozessparameter sind vollständig editierbar und die Einheit ist mit mehreren statistischen Prozessleitsystemen kompatibel. Die Maschine läuft auf Software, die eine benutzerfreundliche, moderne Oberfläche mit großartigen Grafiken und intuitiven Funktionen enthält. Werkzeugsicherung und -protokollierung sind auch für Datensicherheit und Rückverfolgbarkeit integriert. TEL ALPHA 8 SE Z ist ein zuverlässiger, effizienter und moderner Diffusionsofen mit fortschrittlichen Eigenschaften und Zubehör für die Verarbeitung und Herstellung von Halbleiterscheiben. Es wurde entwickelt, um eine hohe Wiederholbarkeit, einheitliche Prozesstemperaturen und eine schnelle Wafer-Wende zu einem wettbewerbsfähigen Preis zu bieten.