Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS #9003694 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket für Hochdurchsatz-Glühen von fortschrittlichen Halbleiterscheiben. Es verfügt über einen 8-fach vertikalen Ofen, eine Substratübertragungsausrüstung und eine Suite von Steuerungssoftware. Der 8-fach Vertikalofen auf TEL Alpha 8SE ZABFNS ist ein Hochtemperatur-Präzisionsglühgerät mit einem Nenntemperaturbereich von 600 ° C bis 1300 ° C. Es enthält Halogenlampen auf zwei Ebenen mit der Kapazität, die Temperatur innerhalb von sieben Sekunden auf 200 ° C zu erhöhen, was Glühzeiten von nur 6 Minuten ermöglicht. Es verfügt auch über eine Reihe von Gasstromregelsystemen, von einem Sieben-Punkt-Druckkalibrierregler bis zu einem Diffusionszellen-Massenstromregler, der weit verbreitet in plasmaverstärktem Glühen eingesetzt wird. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE Das Substratübertragungssystem von ZABFNS ermöglicht es Benutzern, bei hohen Geschwindigkeiten präzise Ergebnisse zu erzielen. Das Gerät umfasst eine innovative Linearliefermaschine bestehend aus zwei Hauptmodulen: dem Lader und dem Entlader. Der Lader bietet sofortige Betriebseffizienz und Flexibilität, da 8-Zoll-Wafer zwischen den Verarbeitungsschritten schnell geladen und entladen werden können. Der Entlader verbessert Geschwindigkeit und Durchsatz mit Hilfe eines einzigartigen gekippten Spannfutterübertragungswerkzeugs und eines vollautomatischen Wafer-Wagens. Die Steuerungssoftware von Alpha 8SE ZABFNS wurde entwickelt, um die Benutzereffizienz und Genauigkeit zu maximieren, indem Benutzer Prozessdaten fernüberwachen, auf Asset-Informationen zugreifen und die manuelle Steuerung von Modelloperationen ermöglichen können. Hochentwickelte Analyse- und Reporting-Funktionen stehen über die Software zur Verfügung, einschließlich einer integrierten Rezeptdatenbank zum Erstellen, Speichern und Ausführen von Standardprozessen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS eine fortschrittliche und zuverlässige Diffusionsofenanlage, die für das Hochdurchsatzglühen von Halbleiterscheiben optimiert ist. Es verfügt über einen 8-fach vertikalen Ofen, ein Substratübertragungssystem und eine leistungsstarke Steuerungssoftware für maximale Effizienz und Genauigkeit.