Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590975 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör bietet eine kostengünstige und zuverlässige Methode zur Implementierung von In-situ- und Ex-situ-Prozessen für High-End-Anwendungen in der Halbleiter-, Optoelektronik- und Photovoltaik-Industrie. TEL Alpha 8SE-ZANRS ist ein universeller Hochtemperatur-Diffusionsofen, der bei Temperaturen bis 1000 ° C arbeitet und somit perfekt für Oxidations-, Nitridations-, Reduktions-, Joule-Heiz- und Sinterprozesse geeignet ist. Der Ofen ist in eine geräumige, niederdruckreiche Hochvakuumkammer eingeschlossen, die mit einem modifizierten Quarzreflektor ausgestattet ist, der eine gleichmäßige Wärmeintensität und gleichmäßige Verteilung über die gesamte Innenfläche der Kammer ermöglicht. Die gesamte Kammer ist auch mit einer extrem kurzen Glühzykluszeit ausgelegt, um Materialgrat und Kontamination zu minimieren. Darüber hinaus kann TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS aufgrund seines robusten Temperaturregelungssystems und der Mehrzonenheizung stabil bleiben und über längere Zeiträume regelmäßige Temperaturen aufrechterhalten. Das Außengehäuse von Alpha 8SE-ZANRS ist aus hochbelastetem Edelstahl gefertigt und soll Verunreinigungen durch externe Quellen verhindern. Dieser Ofen verwendet eine Vielzahl von zusätzlichem Zubehör, um seine Standardmerkmale zu ergänzen, einschließlich einer Steuerung und Heizelemente, eine spezielle Lampenschirmung zum Schutz vor unbeabsichtigten Schäden von der Lampe, ein Wafer-Checker zur Bestimmung des Niveaus der Oxidation, Nitridation und Reduktion und einen Gasmischer. Technische Merkmale von TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS umfassen eine Lastschleuse mit einer maximalen Belastbarkeit von 9 kg, ein Quarzboot mit einer Kammertiefe von 15 cm und eine Gaskammer mit einer Durchflussrate von 0,02 ml/min bis 10 ml/min. Es verfügt außerdem über ein Mehrzonen-Heizsystem mit einem einstellbaren Bereich von 0-100% und bis zu 8 Zonen, während eine Hochfrequenz-Stromquelle (300 - 400 kHz) in das Lampengehäuse zur schnellen Heizung eingebaut ist. Abschließend bieten TEL Alpha 8SE-ZANRS Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für High-End-Halbleiter-, optoelektronische und photovoltaische Anwendungen. Mit seiner robusten Konstruktion, mehreren Sicherheitsmerkmalen, dem einstellbaren Temperaturbereich und der effizienten Glühzykluszeit ist dieser Hochtemperaturofen ideal für die Herstellung von Qualitätsprodukten mit langer Haltbarkeit.
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