Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122705 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 122705
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2007
Thermal process furnace, 8"
Flat type wafer
Signal tower: (4) color
I/O type
Rapid cooling unit
Capacity: (125) wafers per batch
Controller
Waves V3.23 R001 (D01FFF-000F)
(2) HDD: 4.3 GB
TEB 408 HDMC Rev 2.0B
SVA 041
TEB 107 ECS5
DVE P750/51-TR
TEB 103 FPIF
Temperature controller: 560A
Pressure controller: CKD
WVG controller: WVG-SC-010Y1B2B
Vacuum pump: Ebara A150W-T
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Diffusionsofen und Zubehör entwickelt, um fortschrittliche thermische Prozesse mit konsolidierten Prozesskammer und Transportmöglichkeiten zu erleichtern. Sein Design unterstützt eine Reihe von Anwendungen, darunter Power-MOS, dedizierte Stromgeräte und BiCMOS sowie Hochtemperaturverpackungen. TEL ALPHA-8SE zeichnet sich durch Diffusionsöfen für seine Vakuum-Wafer-Transfereinrichtung aus, die die Übertragung von Wafern aus einer laminaren Strömungsisolationskammer in die Prozesskammer eines Diffusionsofens ermöglicht. Dies gewährleistet maximale Sauberkeit und Umweltkontrolle während des Diffusionsprozesses. Das Transfersystem erleichtert auch die Handhabung von Wafern, ohne die Tür öffnen oder einer möglichen Kontamination aussetzen zu müssen. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE verfügt zudem über eine leistungsstarke und multifunktionale digitale Prozesssteuerung. Dieser Regler ermöglicht eine präzise Regelung der Temperatur und des Drucks in der Diffusionskammer und die Programmierung komplexer Prozesse. Der Regler kann Temperatur und Druck mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten fegen, so dass eine Vielzahl von Prozessparametern eingestellt werden, von der grundlegenden bis zu den kompliziertesten. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE verfügt über eine einzigartige Niederdruck-Reaktionsgasförderfunktion, die sicherstellt, dass die gasförmigen Reaktionspartner sicher und präzise geliefert werden. Dadurch wird auch sichergestellt, daß der Diffusionsprozeß in einem sehr engen und gleichmäßigen Profil gehalten wird und daß die Reaktanden bei hohem Druck nicht teilweise auf der Oberfläche der Probe diffundieren. Damit ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E ein ideales Instrument für fortschrittliche thermische Prozesse. ALPHA-8 SE überzeugt auch durch eine integrierte Steuerung. Diese Maschine ermöglicht es dem Anwender, komplexe Prozesse und voreingestellte Temperatur- und Druckprofile zu programmieren. Zusätzlich ist dieses integrierte Steuerungswerkzeug für die Probenüberwachung, Gasüberwachung, Sicherheitsüberwachung und die vorbeugende Wartung und Wartung des Ofengerätes zuständig. Dies gewährleistet maximale Effizienz und Zuverlässigkeit des TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E Diffusionsofens. Aufgrund seiner Konstruktion und Konstruktion hat Alpha 8SE Diffusionsofen die Fähigkeit, thermische Prozesse mit minimaler Verschmutzung und mit einer hohen Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit durchzuführen. Dies macht es zu einer idealen Wahl für fortschrittliche thermische Prozesse und Forschung. Darüber hinaus kombiniert TEL ALPHA 8 SE einzigartig die Eigenschaften der hochpräzisen Temperaturregelung, der Hochdruck-Reaktionsgasförderung und der flexiblen Integration mit verschiedenen Prozesswerkzeugen.
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