Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144248 zu verkaufen

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ID: 144248
LPCVD LP-BSG TEOS furnace, 8" Flat / notch type: Notch Signal tower: 3 color (RYG) SMIF or I/O type: I/O type AGV compatibility: Not use Rapid cooling unit: Not use Load lock system: Not use Production wafer quantity: 150 Controller and software: HD version: WAVES V3.11 R0008 HDD capacity: 4.3 GB TEB 408-11 HDMC SVA 031 TEB 107 ECS5 M/C TEB 205 TEB 103 FPIF Configuration: Alpha-8SE Power: (phase, voltage, frequency) Heater power: 3 phase, 50/60 Hz 440V Controller power: 1 phase, 50/60 Hz 100V Pump power: 3 phase, 50/60 Hz 440V MFC flow: MFC1: STEC N2, 20 SLM MFC2: STEC N2, 200 SCCM MFC3: STEC TEOS, 300 SCCM MFC4: STEC N2, 5 SLM MFC5: SAM CLF3, 5 SLM MFC6: STEC TMB, 300 SCCM Heater model: VMM 40-101 Vacuum control: EBARA 150x40UERP6M-D Controller specifications: Main controller: WAVES Temperature controller: Model 560A Pressure controller: PCU1000 (PCV control) Mecha controller: T-Bawl Burn controller: None MFC controller: None Powered off 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für die Herstellung von Halbleitern. Dieses System besteht aus einer Quarzkammer, einem Waferboot, einem Glockenglas und einer hitzebeständigen Auto-Lift-Anordnung, die das Waferboot in der Kammer platziert. Die Quarzkammer ist so konzipiert, dass sie eine eng gekoppelte Wärme- und Energieeinheitlichkeit bietet, während das Glockenglas ultra-saubere Arbeitsbedingungen ermöglicht. Die Auto-Lift-Baugruppe sorgt für einen einfachen Zugang zum Waferboot innerhalb der Quarzkammer und eine präzise Positionierung bei minimaler Beanspruchung. TEL ALPHA-8SE Ofen verfügt auch über eine fortschrittliche High-Endurity, Dickschicht-Heizung. Diese Heizung kann bis zu 500 Watt Leistung und bis zu 150 Watt/cm2 Glühenergie liefern. Es bietet auch einen großen Temperaturbereich von 25 ° C bis 1200 ° C. Die präzise Steuerung der Wärme wird durch die eingebaute Temperaturregelung ermöglicht und der Graphit-Suszeptor sorgt für präzise Gleichmäßigkeit. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE kommt auch mit hervorragenden Umweltkontrolle Fähigkeiten. Es ist mit einer Reihe von Umgebungsluft, trockener Luft und anderen Gasen kompatibel und hat ein filterfreies Design für verbesserte Umweltanforderungen. Darüber hinaus verfügt es über eine hohe Reinheit Wand und Dach, Niederdruckoptionen und andere erweiterte BPSG und chemische Dampfabscheidung Fähigkeiten. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE kommt auch mit einer breiten Palette von Funktionsmerkmalen. Dazu gehören eine integrierte elektrische Antriebsmaschine mit intuitiver Joystick-Steuerung, eine bordeigene programmierbare Logiksteuerung und ein Touchscreen-Dateneingabewerkzeug. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E über eine fortschrittliche Energieeffizienz, ein unabhängiges Temperaturrampenmodell und eine verbesserte Rezeptbibliothek. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE Diffusionsofen und Zubehör-Ausrüstung entworfen, um qualitativ hochwertige Herstellung von Halbleiterbauelementen zur Verfügung zu stellen und es Herstellern zu ermöglichen, hohe Energieeffizienz und Umweltverträglichkeit aufrechtzuerhalten. Das Leistungsspektrum und die Funktionsfähigkeit garantieren eine präzise Steuerung und hervorragende Leistung bei minimalen Chemieabfällen und Betriebskosten.
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