Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #168532 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 168532
LPCVD furnace, 8"
Wafer size: 8"
Flat / notch type: Flat
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: V3.11
HDD capacity: Waves V3.11 R0000
TEB 408-11 HDMC
SVA 011
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 208V, 35.6 Kva
Controller power: 1 phase, 208V, 5.5 Kva
MFC flow:
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 20 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D985Y-BF, SiH4 100 SCCM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2O 5 SLM
MFM1: AREA TC FM 865Y, SiH4 100 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum controls:
APC (CKD) control: VEC-S8-X0201
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Alpha 8SE-C
Pressure controller: None
Mecha controller: None
Burn controller: None
MFC controller: None.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Mehrzweck-Hochfrequenz-Diffusionsofen, der für die Halbleiterverarbeitung und andere Fertigungstechniken verwendet wird. Es verfügt über ein internes Quarzrohr mit präziser Temperaturregelung und gleichmäßiger Erwärmung, das eine präzise Steuerung der Verarbeitungsparameter ermöglicht. Das Quarzrohr ist von einem stickstoffgefüllten Gasschild umgeben, der eine inerte Atmosphäre und eine überlegene Wärmedämmung bietet. Der Ofen ist mit einer präzisen Frequenzsteuerung ausgestattet, die speziell für eine präzise Temperaturregelung entwickelt wurde. Dieses System erfordert keine häufigen manuellen Anpassungen, was wiederholbare Heizzeiten und stationäre Bedingungen ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über eine Leistungsverhältnis-Steuermaschine, die hohe Geschwindigkeit und genaue Temperaturregelung für eine gleichmäßige Wärmeverteilung liefert. TEL ALPHA-8SE ist mit einem Probenladewerkzeug und einer integrierten Be-/Entladestation ausgestattet. Sie ermöglicht es, bis zu acht Wafer oder Substrate jederzeit in unmittelbarer Nähe zu beladen. Darüber hinaus gewährleistet die Konstruktion des Probenbeladeteils, dass die optomechanische Ausrichtung der Fertigung während des Be- und Entladens und der Handhabung aufrechterhalten bleibt. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE bietet auch eine hohe Kontrolle über den Diffusionszyklus. Es bietet eine präzise Steuerung von Temperaturrampen, Zeit-Dichte-Profilen und Zyklus-Endpunkterkennung. Für Hochlastanwendungen ist es mit einem schnellen Recovery-Modell ausgestattet, das eine Ein/Aus-Modulation der Heizungen zur Begrenzung von Zyklus-zu-Zyklus-Variationen ermöglicht. Die Automatisierungsfunktion von ALPHA 8S-E bietet eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche mit einer Reihe von Prozessüberwachungstools. Das Gerät überwacht außerdem bis zu 1200 Prozessparameter, was eine fortschrittliche Prozesskontrolle und eine vollständige Rückverfolgbarkeit des Herstellungsprozesses ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE bietet auch mehrere fortgeschrittene Zubehör, wie ein motorisierter Verschluss für Stickstoffspülung und ein Trockengasfilter für Inertgaswäsche/Trennung. ALPHA 8 SE Diffusionssystem bietet auch eine fortschrittliche Abwasserreinigungseinheit, die SEMI S8 und ISO14644-1 Standards entspricht. Dadurch wird sichergestellt, dass die emittierte Luft auf einem sicheren und umweltfreundlichen Niveau gehalten wird. Der Ofen ist außerdem robust, zuverlässig und effizient und bietet eine Reihe von Optionen, um die Kundenanforderungen zu erfüllen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor