Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #168532 zu verkaufen

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ID: 168532
LPCVD furnace, 8" Wafer size: 8" Flat / notch type: Flat Signal tower: 3 color (RYG) SMIF or I/O type: I/O type AGV compatibility: Not use Rapid cooling unit: Not use Load lock system: Use Production wafer quantity: 150 Controller and software: HD version: V3.11 HDD capacity: Waves V3.11 R0000 TEB 408-11 HDMC SVA 011 TEB 107 ECS5 M/C TEB 205 TEB 103 FPIF Power: (phase, voltage, frequency) Heater power: 3 phase, 208V, 35.6 Kva Controller power: 1 phase, 208V, 5.5 Kva MFC flow: MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 20 SLM MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM MFC1: AREA TC FC D985Y-BF, SiH4 100 SCCM MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2O 5 SLM MFM1: AREA TC FM 865Y, SiH4 100 SCCM Heater model: VMM 40-101 Vacuum controls: APC (CKD) control: VEC-S8-X0201 Controller specifications: Main controller: WAVES Temperature controller: Alpha 8SE-C Pressure controller: None Mecha controller: None Burn controller: None MFC controller: None.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Mehrzweck-Hochfrequenz-Diffusionsofen, der für die Halbleiterverarbeitung und andere Fertigungstechniken verwendet wird. Es verfügt über ein internes Quarzrohr mit präziser Temperaturregelung und gleichmäßiger Erwärmung, das eine präzise Steuerung der Verarbeitungsparameter ermöglicht. Das Quarzrohr ist von einem stickstoffgefüllten Gasschild umgeben, der eine inerte Atmosphäre und eine überlegene Wärmedämmung bietet. Der Ofen ist mit einer präzisen Frequenzsteuerung ausgestattet, die speziell für eine präzise Temperaturregelung entwickelt wurde. Dieses System erfordert keine häufigen manuellen Anpassungen, was wiederholbare Heizzeiten und stationäre Bedingungen ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über eine Leistungsverhältnis-Steuermaschine, die hohe Geschwindigkeit und genaue Temperaturregelung für eine gleichmäßige Wärmeverteilung liefert. TEL ALPHA-8SE ist mit einem Probenladewerkzeug und einer integrierten Be-/Entladestation ausgestattet. Sie ermöglicht es, bis zu acht Wafer oder Substrate jederzeit in unmittelbarer Nähe zu beladen. Darüber hinaus gewährleistet die Konstruktion des Probenbeladeteils, dass die optomechanische Ausrichtung der Fertigung während des Be- und Entladens und der Handhabung aufrechterhalten bleibt. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE bietet auch eine hohe Kontrolle über den Diffusionszyklus. Es bietet eine präzise Steuerung von Temperaturrampen, Zeit-Dichte-Profilen und Zyklus-Endpunkterkennung. Für Hochlastanwendungen ist es mit einem schnellen Recovery-Modell ausgestattet, das eine Ein/Aus-Modulation der Heizungen zur Begrenzung von Zyklus-zu-Zyklus-Variationen ermöglicht. Die Automatisierungsfunktion von ALPHA 8S-E bietet eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche mit einer Reihe von Prozessüberwachungstools. Das Gerät überwacht außerdem bis zu 1200 Prozessparameter, was eine fortschrittliche Prozesskontrolle und eine vollständige Rückverfolgbarkeit des Herstellungsprozesses ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE bietet auch mehrere fortgeschrittene Zubehör, wie ein motorisierter Verschluss für Stickstoffspülung und ein Trockengasfilter für Inertgaswäsche/Trennung. ALPHA 8 SE Diffusionssystem bietet auch eine fortschrittliche Abwasserreinigungseinheit, die SEMI S8 und ISO14644-1 Standards entspricht. Dadurch wird sichergestellt, dass die emittierte Luft auf einem sicheren und umweltfreundlichen Niveau gehalten wird. Der Ofen ist außerdem robust, zuverlässig und effizient und bietet eine Reihe von Optionen, um die Kundenanforderungen zu erfüllen.
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